| 梳状电容式微加速度计温度性能优化 |
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| 引用本文： | 王帅民,孙国良,牛昊斌,李博洋,余才佳.梳状电容式微加速度计温度性能优化[J].导航与控制,2019,18(4):89-94. |
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| 作者姓名： | 王帅民 孙国良 牛昊斌 李博洋 余才佳 |
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| 作者单位： | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,西安,710076;中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,西安,710076;中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,西安,710076;中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,西安,710076;中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,西安,710076 |
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| 摘 要： | 零偏温度漂移是影响高精度MEMS加速度计整体性能的关键指标，敏感结构机械零位的温度漂移和电路零位(电容检测电路）的温度漂移是加速度计零偏温度漂移的直接原因。分析了影响加速度计零偏温度系数的3种主要影响因素，提出了某型加速度计伺服电路温度性能测试筛选方法，有效减小了电路零位的温度漂移。采用了全硅表头，同时对表头封装粘接方式进行优化，大幅减小了表头机械零位的温度漂移。经过这些优化措施后，加速度计的温度性能得到了明显改善，零偏温度系数由1.3mg/℃减小到0.5mg/℃，零偏的常温稳定性(1h）达到0.108mg，重复性(6次）达到0.141mg。
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| 关 键 词： | 微机械加速度计 温度系数 电路零位 全硅表头 封装粘胶技术 |
Temperature Performance Optimization of Comb-finger Capacitive Micro Accelerometer |
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| WANG Shuai-min,SUN Guo-liang,NIU Hao-bin,LI Bo-yang and YU Cai-jia.Temperature Performance Optimization of Comb-finger Capacitive Micro Accelerometer[J].Navigation and Control,2019,18(4):89-94. |
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| Authors: | WANG Shuai-min SUN Guo-liang NIU Hao-bin LI Bo-yang and YU Cai-jia |
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| Affiliation: | Flight Automatic Control Research Institute, AVIC, Xi''an 710076,Flight Automatic Control Research Institute, AVIC, Xi''an 710076,Flight Automatic Control Research Institute, AVIC, Xi''an 710076,Flight Automatic Control Research Institute, AVIC, Xi''an 710076 and Flight Automatic Control Research Institute, AVIC, Xi''an 710076 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micromechanical accelerometer temperature coefficient circuit zero position full-Silicon structure packaging viscose technology |
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