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1.
半球深腔的加工质量是决定硅基MEMS半球陀螺精度的关键因素之一,及时检测半球深腔的形貌参数并将其反馈至加工过程,是确保高性能MEMS半球陀螺研制成功的重要措施。由于硅半球深腔的深度较大,台阶仪和光学显微成像系统无法对半球深腔的形貌特征进行有效测量。因此,需要将硅深腔结构剖开后采用扫描电镜(SEM)进行检测。这种检测方式时间周期长,且属于破坏性的样本检测,效率和测试精度都较低。提出以硅半球深腔为模具,利用PDMS铸模将硅半球深腔的结构尺寸和表面形貌转移到PDMS凸起的半球模型上,通过检测PDMS半球模型的尺寸结构和表面形貌,即可反推出硅半球深腔的尺寸特征。经实验验证,脱模后的PDMS模型可以准确地反映出半球深腔的尺寸信息,测量结果的不确定度小于5‰,有效解决了硅半球深腔无损检测的难题。  相似文献   
2.
铸模用锌基合金具有较高的强度和硬度,用来制造冲模简便易行、成本低廉,所冲出的零件表面质量较好。文中介绍了锌基合金冲裁模的特点、冲裁模的设计、冲裁模的制造方法以及在锌合金熔化及浇注中应注意的问题。  相似文献   
3.
汽车轮毂挤压铸模型腔造型设计及加工   总被引:2,自引:0,他引:2  
结合CAD/CAM软件UGⅡ的应用.阐述了汽车轮毂挤压铸模型腔造型及数控加工技术.并介绍了型腔设计及加工中所产生的各种问题的解决方法。  相似文献   
4.
本成果发明的高强度塑料木是采用丁腈-26橡胶和热坦性酚醛树脂、六次甲基四胺、硫磺粉、偶氮二异丁腈、氧化锌、硬脂酸、促进剂DM等组分经适当配比和压制的板材。密度严格控制在0.8~0.85g/cm^3的范围内。模具结构中采用承压垫块来控制压制后的高强度塑料木的厚度。  相似文献   
5.
6.
7.
针对大型薄壁件消失模精铸的特点,对消失模的成型工艺进行了大量试验。结果表明,成型工艺与模样密度相互制约,预发泡工艺可影响模样的密度,一定的模样密度又制约了其成型发泡工艺。对不同密度要求的模样,应采用不同的成型工艺。  相似文献   
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