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一种亚微米级两座标微动伺服装置 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种能同时实现轴向和径向微量过给的一两座标微动伺服装置。该装置由电致伸缩器件驱动,采用整体式双柔性铰链结构。以数字信号处理器TMS320C25为中心的控制系统自成体系,能实现高速输入输出操作和快速数学运算。文中主要阐述了其微进给原理、控制系统组成、控制方法,并对实验结果进行了详细的分析。实验结果表明,两座标微动伺服装置位移量大于±3μm,定位分辨率高于0.01μm。 相似文献
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介绍了摄像监视系统的设计依据、技术方案、评审结论,特别指出研制过程中有关技术问题的解决方法及安装施工中的具体要求。 相似文献
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高精度尺寸在线测量与控制系统具有在线测量工件内外径,工件长度及控制进刀加工等功能,其进刀分辨率可达到微米级和亚微米级,并且对其工作原理、系统组成、性能指标及误差分析等作了介绍。 相似文献
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