在片校准标准件基底边界条件影响

通过分析国内外校准标准件物理边界条件，研究不同校准基底的物理边界条件对共面波导（CPW）传输线特性和校准准确度的影响。研制了W波段砷化镓衬底的多线TRL在片校准标准件，将在片校准标准件分别放置在金属卡盘、玻璃片、吸波材料三种校准基底上。用三种不同校准基底的校准标准件对试验装置校准后，分别提取了CPW传输线的衰减常数、相对介电常数和特征阻抗，并对商用校准标准件104-783A的短路标准和传输线标准进行了测试，验证了结果的合理性。     

自动阻抗调配器的校准技术探讨

自动阻抗调配器在微电子行业应用越来越广泛,但是目前国内还没有计量技术机构开展该类仪器的计量校准工作,本文介绍了其机械结构、工作原理,设计了控制模型,组建了校准系统,实现了主要参数矢量重复性、驻波比和插入损耗的校准工作。     

干簧管性能筛选试验方法研究

来源于航空部件产品制造工业实际,针对飞机燃油自动耗油控制系统中使用的干簧管在特定环境应力条件下的使用要求,简述了干簧管工作原理和使用性能特点,分析干簧管在苛刻的工作条件下产生故障的原因和模式.对使用前的二次筛选试验方法进行改进,对比传统试验方法可以有效筛选出有故障或有故障隐患的干簧管,可以提高飞机部件产品和整套燃油自动控制系统的可靠性,保障飞机燃油的自动供给功能,使飞机整机安全性能提高.     

谐波阻抗调配器校准技术研究

作为负载牵引测量系统中的重要器件,谐波阻抗调配器的应用越来越广泛,但是目前国内有关该类仪器的校准工作尚无报道。本文以谐波阻抗调配器的工作原理为基础,设计了校准方法,并重点分析了矢量重复性的三种定义,提出了最佳校准方法。通过与出厂测试数据对比,验证了校准方法的可行性。     

测量接收机与矢网测量衰减方法研究

介绍测量接收机与矢量网络分析仪测量衰减的原理,并对不确定度来源进行了分析。分别对低反射系数下,不同衰减量进行不确定度评定,表明衰减量在(10～60) d B范围内,两种标准测量不确定度相当;另外,采用两种测量标准对较大输入反射系数模值、不同相位下的阻抗调配器级联20dB固定衰减器作为被测件进行测试,最大偏差达到±0. 31dB,矢量网络分析仪的测量不确定度(0. 18dB),明显小于接收机测量不确定度(0. 59dB)。     

低噪声封装器件噪声参数不确定度评定

本文开展了基于Maury公司的Tuner和Agilent公司PNA-X矢量网络分析仪组建的超快噪声参数测量系统的不确定度评定研究工作,通过分析测量系统的输入、输出数据,独立开发了不确定度评定的测量模型,设计了满足国际标准ISO/IEC98-3要求的不确定度评定方法,编制了不确定度仿真软件,首次报道了四个噪声参数的不确定度数据,最佳估计值和95%概率下得包含区间。     

汞离子微波频标汞光谱灯设计

汞离子微波频标由于其体积小、指标高的优势，未来将在卫星导航、深空探测和守时中得到广泛应用。汞离子微波频标的优势在于利用汞灯进行抽运，可实现小型化。而汞灯的指标会限制汞离子微波频标的物理极限，因此汞灯的设计尤其重要，通过大量的实验完成了汞灯的设计。测试指标如下，功率稳定度大约2.5%，测试时间为3天；194nm与253nm谱线能量比约1/45，通过滤光泡可改善为1/3。     

测量接收机与矢网测量衰减方法研究

介绍测量接收机与矢量网络分析仪测量衰减的原理，并对不确定度来源进行了分析。分别对低反射系数下，不同衰减量进行不确定度评定，表明衰减量在（10～60）dB范围内，两种标准测量不确定度相当；另外，采用两种测量标准对较大输入反射系数模值、不同相位下的阻抗调配器级联20dB固定衰减器作为被测件进行测试，最大偏差达到±0.31dB，矢量网络分析仪的测量不确定度（0.18dB），明显小于接收机测量不确定度（0.59dB）。     

基于十六项误差模型算法的GCPW校准标准研制

开发了用于表征W波段电路的在片十六项误差模型 GCPW校准标准。GCPW校准标准与被测晶体管制作在薄的砷化镓（GaAs）衬底上，可有效消除校准标准和被测件由于衬底、边界条件不一致带来的系统误差。校准标准设计中采用合适的尺寸和过孔工艺来保证单模传输（减小平行板模式和表面波模式）。为了精确标定十六项误差模型校准标准的散射参数，同一片晶圆片还设计了多线TRL辅助校准标准。十六项误差模型校准标准和商用的阻抗标准（LRRM）测试同一无源器件，测试结果表明前者在测试串扰方面更为准确。实验结果表明，GCPW校准标准可替代传统的多线TRL校准标准，用于W波段及以上的在片测试。     

自动和半自动探针台的载片台水平位移测量方法研究

为解决自动和半自动探针台的载片台水平方向位移发生偏差时,导致探针压点位置不准,从而使测试结果不可靠,甚至伤及芯片和探针的问题。根据实际工艺和溯源机构的标准器具特性,设计了标准尺的图形,在苏打玻璃上电镀5μm宽的金线条,制作成152.4mm×20mm的长方形标准尺,其测量范围为(0~150)mm。对标准尺进行了定标,定标不确定度为1.0μm。在测量范围内,进行了试验分析,评定了测量不确定度。结果表明:标准尺测量的水平位移偏差小于4μm,满足测试需求。