高垂直度和低沉积的MEMS陀螺梳齿结构释放工艺

梳齿型微机电系统（MEMS）陀螺的释放要求结构具有垂直度高、释放过程沉积聚合物少的特点,通过优化深硅刻蚀的工艺参数,包括钝化气体八氟环丁烷（C4F8）的流量、衬底温度、刻蚀气体六氟化硫（SF6）的流量和钝化气体C4F8的压力,实现了结构垂直度为90.0°、支撑层表面沉积物厚度为87.1nm的梳齿结构释放工艺。深硅刻蚀工艺的优化为高性能MEMS陀螺的加工提供了基础。     

玻璃基环形振动微陀螺谐振子的设计与制造工艺

针对传统单晶硅材料热胀系数不稳定引起的硅基环形振动微陀螺的温度漂移问题，开展了玻璃基环形振动微陀螺谐振子的设计，并提出了一种新型的玻璃基准三维微结构制造工艺，借助微型电子机械系统（MEMS）工艺中成熟的深硅刻蚀、阳极键合、化学机械抛光等通用加工技术，融合玻璃熔融工艺，解决了玻璃基准三维微结构的制造工艺难题，同时保证了高的加工精度，实现了玻璃基环形振动微陀螺谐振子的高精度批量制造。     

西门子840D系统的数控机床群远程监控技术研究

本文研究了西门子840D数控系统的数据采集方法,并利用OPC方式实现了840DPL和V4.5以下版本840D SL的数据采集,利用OPC UA实现了V4.5及以上版本840D SL的数据采集,利用QT编程对840D SL数控系统进行二次开发,实现了840DSL各个版本数控系统的数据采集,并以数据采集为基础,编写了数控车间中数控机床群监控软件系统,实现了西门子840D数控系统数控机床群的远程监控。     

面外轴向检测MEMS加速度计研究现状

面外轴向检测微机电系统（MEMS）加速度计（Z轴MEMS加速度计）是MEMS惯性系统中用于提供面外加速度信号的重要器件。文章首先介绍了Z轴加速度计的两种典型结构，列举了国内外科研机构近年来的研究成果，概述其在结构设计、工艺制造等方面的特点，以及在性能指标、三轴单片集成等方面的进展。最后，结合Z轴MEMS加速度计的研究现状，对其在结构优化、性能提升、工艺制造、单片三轴集成等方向的发展进行了展望。