复杂形状零件的微细电火花加工

介绍了将LIGA技术与微细电火花加工技术相结合来实现复杂形状微细结构的加工;初步探讨了复杂形状微细结构的加工工艺,获得了优化参数,试制出典型的复杂微细形状构件.     

大面积微细结构的电火花加工

采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 ,实现了大面积微细结构的精细制造     

大面积微细结构的电火花加工

采用深度光刻与电铸技术相结合的方法,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题.在此基础上,利用优化的微细电火花加工工艺,实现了大面积微细结构的精细制造.