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| 大面积微细结构的电火花加工 | |
| 引用本文： | 彭良强,伊福廷,张菊芳,韩勇,张院春,邹丽芸.大面积微细结构的电火花加工[J].航空制造技术,2002(5). |
| 作者姓名： | 彭良强 伊福廷 张菊芳 韩勇 张院春 邹丽芸 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院 2. 北京市机电研究院,张院春,邹丽芸 |
| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程和北京市自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 ,实现了大面积微细结构的精细制造 |
| 关 键 词： | 电火花加工 微细加工 大面积微细结构 |
Fabrication of Giant Area Microstructure by EDM |
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