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1.
大气等离子加工系统设计及实验验证
赵培君
王波
卢礼华
董申
《航空精密制造技术》
2010,46(1)
建立了面向复杂光学表面的大气等离子抛光系统,并用该系统进行硅片表面加工的实验研究.研究了CF_4、SF_6两种气体的放电特性以及加工效果,得到了加工速率与功率,流量间的关系,并通过原子力显微镜观察了加工后的表面质量.
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