激光光斑形状及入射角对PSD位置输出影响的研究

位置敏感探测器（PSD）探测的是光斑能量的重心位置,通常利用半导体激光器作为PSD位置探测的光源。半导体激光器的光源存在衍射现象,入射角度的变化会引起光斑能量重心的变化,从而导致PSD输出特性的变化。本文通过计算得出圆光斑和＂十＂字形光斑的能量分布,光阑半径越小,光波长越长,衍射现象越明显,对PSD的输出影响越大。通过分析入射角变化对PSD输出特性的影响得出：入射光线在PSD敏感面垂直位置附近发生小角度变化时,重心的偏移会很微小,对PSD的输出特性影响较小。     

高均匀扫描电机轴面不平行度动态测量方法研究

为了解决高均匀扫描电机转动轴位置未知时与反射镜面不平行度的测量问题，提出了一种动态的光电测量方法；在激光测量光路中，利用扫描电机在位置敏感传感器（PSD）上的扫描曲线，并根据光学成像原理和扫描曲线的外形特征，设计了一个光学实验系统；利用实验方法建立了轴面俯仰角度与扫描曲线形状的关系式，最后对扫描电机轴面不平行度的特性进行了测试分析。实验表明，此种测量方法能够很好地解决动态测量扫描电机轴面不平行度的问题。