提高F-P腔精细度方法的研究

采用真空蒸发镀膜的方法,在光纤端面镀以由ZrO2/SiO2膜系构成的高反射膜,将光纤端面的反射率由原来的4%提高为80%,改善了光纤F-P腔反射光谱的精细度,可提高光纤F-P传感器在进行波分复用时的复用数量。     

光纤F-P腔传感器波分复用技术研究

描述了一种光纤F-P传感器的多路复用解调技术,该技术采用一个4通道的粗波分复用器（CWDM）和一个40通道的密集型波分复用器（DWDM）构成多路复用系统,利用探测器对系统输出光能量进行检测,通过插值法对采集信号进行拟合计算,解调出反射光谱的波长值,实现了4支具有相同参数的F-P腔传感器的同时解调。     

提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究

膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统(MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0~120 kPa(绝压)范围内压力的准确测量。