提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究 |
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引用本文: | 张慧君,张立喆,段玉培,陈喜.提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究[J].航空计测技术,2014(3). |
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作者姓名: | 张慧君 张立喆 段玉培 陈喜 |
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作者单位: | 中航工业北京长城计量测试技术研究所; |
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基金项目: | 中国航空工业集团公司技术创新基金项目(2009F30472) |
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摘 要: | 膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统(MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0~120 kPa(绝压)范围内压力的准确测量。
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关 键 词: | 湿法腐蚀 压力灵敏度 光纤压力传感器 |
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