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1.
粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件   总被引：1，自引：0，他引：1  
介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果.  相似文献   
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