| 粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件 |
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| 引用本文： | 刘晓健,曲鲁,李东华,卫东,裘南畹.粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件[J].航空计测技术,2006,26(Z1):71-74. |
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| 作者姓名： | 刘晓健 曲鲁 李东华 卫东 裘南畹 |
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| 作者单位： | 济南半导体研究所，济南半导体研究所，济南半导体研究所，济南半导体研究所，山东大学 山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250014，山东 济南 250061 |
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| 摘 要： | 介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果.
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| 关 键 词： | 粉末溅射 薄膜 酒敏元件 |
Powder Sputtering Plane Thin-film SnO2/CeO2 Alcohol Sensor |
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| LIU Xiao-jian,QU Lu,LI Dong-hua,WEI Dong,QIU Nan-wan.Powder Sputtering Plane Thin-film SnO2/CeO2 Alcohol Sensor[J].Aviation Metrology & Measurement Technology,2006,26(Z1):71-74. |
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| Authors: | LIU Xiao-jian QU Lu LI Dong-hua WEI Dong QIU Nan-wan |
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| Abstract: | The technics of two kinds of thin film gas sensors made by powder sputtering are introduced. The structure and the experimental results of basic parameters are given in this paper. |
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| Keywords: | powder sputter thin film alcohol sensor |
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