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总结了基于光学内反射测角法的微小角度测量的基本原理、特性、发展现状以及其在精密测试中的应用。 相似文献
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提出了一种基于内反射效应的二维微小角度传感器的设计方法。该传感器采用光学差动法,通过检测光强实现了对二维方向上微小角度的测量。研制的角度传感器俯仰角和偏转角的测量范围为±500arcsec;具有优于0.1arcsec的分辨力。 相似文献
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设计一种新型二维微小角度传感器,可实现实时二维角度的测量。并采用基于DSP的检测电路进行高速数据采集处理,使系统的测量精度和响应速度满足了当前在线检测的需求,角度测量>±600arcsec,测量分辨率优于0.1arcsec。 相似文献
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研究了在不同的偏置电压和扫描速度下加工的Si氧化线的一致性和均匀性,得到了加工高质量的Si氧化线的实验条件为:偏置电压8V,扫描速度1 μm/s。 相似文献
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