以激光束为基准测量工作台直线运动误差的原理探讨

提出一种以两束激光为基准测量工作台直线运动误差(五个自由度)的方法,并根据刚体运动学的基本原理导出了相应的数学模型。所获得的误差计算公式形式简单,计算方便,适用于实时、现场运动精度测量及补偿。     

激光光纤准直系统的试验研究

介绍一种新的激光准直系统,该系统通过单模光纤建立新的光发射基准,从而有效地抑制了由于激光腔热变形而产生的光束漂移。另外,该系统采用了标量卡尔曼数字滤波器耒降低大气扰动和其他环境因素对测量的影响,在2.5m的测量范围内,系统稳定性可以控制在±1.5μm以下。该系统适用于作为形状误差和运动误差测量时的直线基准。     

以激光束为基准测量工作台直线运动误差的原理探讨

提出一种以两束激光为基准测量工作台直线运动误差(五个自由度)的方法,并根据刚体运动学的基本原理导出了相应的数学模型。所获得的误差计算公式形式简单,计算方便,适用于实时、现场运动精度测量及补偿。     

用准单色光散射法测量中等以上精度表面粗糙度

提出一种通过对远场散射光分布的统计分析来测量中等以上精度表面粗糙度的新方法。采用半导体激光器作为光源,并使用一维 CCD 器件来探测散射光分布。实验结果表明,在 R_a≤2.2μm 的范围内,远场归一化散射光分布的标准偏差(σ)与标准粗糙度参数 R_a 之间有很好的相关关系。     

远场激光散射法测量高精度表面粗糙度研究

文本介绍一种通过对远场散射光的统计分析来测量高精度平面及球面粗糙度的新方法。采用一维CCD器件来探测散射光分布。实验结果表明,所选用的远场散射光分布特征参数与标准粗糙度Ra之间存在很好看相关系。