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KDP晶体超精密加工机床静压主轴轴向变形分析 总被引：1，自引：0，他引：1
通过建立KDP晶体超精密加工机床气体静压主轴的三维有限元模型,在考虑主轴装配的接触关系和螺钉预紧力的情况下,计算得到了主轴结构在工作状态下的变形.计算结果表明,由于结合面和主轴受拉伸长,轴承气膜间隙增大;气体压力导致止推板从中心到边缘发生翘曲变形,止推轴承的气膜为楔形.实验结果表明,有限元模型的计算误差小于11%. 相似文献
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建立了面向复杂光学表面的大气等离子抛光系统,并用该系统进行硅片表面加工的实验研究.研究了CF_4、SF_6两种气体的放电特性以及加工效果,得到了加工速率与功率,流量间的关系,并通过原子力显微镜观察了加工后的表面质量. 相似文献
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滚珠丝杠在超精密定位中的应用 总被引：1，自引：0，他引：1
通过分析滚珠丝杠驱动机构的特点,对目前利用这种驱动方式实现大行程的具有纳米分辨率的定位系统的关键技术进行论述。 相似文献
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传统的机电系统设计方法中,机械和控制系统串行设计,通常无法获得优化的设计结果.随着机电伺服系统性能要求的持续提高,建立统一机械和控制系统数学模型,同时进行机械和控制参数优化设计的集成设计方法成为目前精密机电系统设计研究的前沿. 相似文献
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