一种新型微带帖片天线的频率可重构设计

提出了一种新型微带贴片天线的频率可重构设计。采用一种交叉形的贴片结构,在贴片的非对称缝隙中添加RFMEMS开关,通过调节开关的通断来实现对天线频率的重构。所设计的可重构天线在0．8GHz～3．0GHz频率范围内有较为均匀的频段分布,总的工作带宽达到了400MHz,还对天线在不同开关状态下的方向图形状进行了比较。最后讨论了用金属片替代的RFMEMS开关的理想模型和等效原件替代的非理想模型对仿真结果的影响。     

基于UKF自主定姿方法研究

轻小型飞行器在飞行中卫星导航失效时,余度控制回路要求导航系统具有自主确定姿态的能力.提出了基于IMU的输出确定水平姿态的方法,并采用UKF实现飞行中的实时滤波估计.对某无人机实际飞行的MEMS型IMU数据进行了仿真,结果表明该方法给出的姿态角信息满足控制精度需求.将UKF与EKF滤波估计结果进行比较,UKF更具有优越性.     

MEMS环形谐振陀螺闭环系统建模、仿真与参数分析

针对一款数字可配置的MEMS环形谐振陀螺,对陀螺表头和信号处理电路进行数学建模,推导陀螺检测系统指标参数与机电特性参数之间数学关系,为可配置ASIC电路提供理论支撑.通过对实测表头数据和理论模型数据进行对比分析,验证了模型的有效性与准确性.     

一种无卫星辅助的制导弹药滚转角误差修正算法

针对海军舰载制导弹药MEMS惯导系统在卫星失锁后滚转角误差较大的问题，提出了一种不依赖卫星的制导弹药误差修正算法。根据弹体高速旋转时的定轴性使得短期内弹体侧向位移为零的特点，建立了弹体发射坐标系导航误差方程。利用自适应扩展Kalman滤波估计与修正卫星失效条件下的滚转角误差。为了检测并抑制量测突变引起的随机误差，使用自适应因子来调整滤波器参数。车载模拟试验和弹道仿真结果表明，10s对准时间内，滚转角误差能够收敛到0.5°以内，满足制导弹药控制精度的要求, 降低了制导弹药飞行过程中对卫星导航的依赖，提高了系统的自主性。     

Radiation testing of a commercial 6-axis MEMS inertial navigation unit at ENEA Frascati proton linear accelerator

We present the first results of a novel collaboration activity between ENEA Frascati Particle Accelerator Laboratory and University La Sapienza Guidance and Navigation Laboratory in the field of Radiation Hardness Assurance (RHA) for space applications.The aim of this research is twofold: (a) demonstrating the possibility to use the TOP-IMPLART proton accelerator for radiation hardness assurance testing, developing ad hoc dosimetric and operational procedures for RHA irradiations; (b) investigating system level radiation testing strategies for Commercial Off The Shelf (COTS) components of interest for SmallSats space missions, with focus on devices and sensors of interest for guidance, navigation and control, through simultaneous exploration of Total Ionizing Dose (TID), Displacement Damage (DD) dose and Single-Event Effects (SEE) with proton beams.A commercial 6-axis integrated Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) inertial navigation system (accelerometer, gyroscope) was selected as first Device Under Test (DUT). The results of experimental tests aimed to define an operational procedure and the characterization of radiation effects on the component are reported, highlighting the consequence of the device performance degradation in terms of the overall navigation system accuracy. Doses up to 50 krad(Si) were probed and cross sections for Single-Event Functional Interrupt (SEFI) evaluated at a proton energy of 30 MeV.     

面外轴向检测MEMS加速度计研究现状

面外轴向检测微机电系统（MEMS）加速度计（Z轴MEMS加速度计）是MEMS惯性系统中用于提供面外加速度信号的重要器件。文章首先介绍了Z轴加速度计的两种典型结构，列举了国内外科研机构近年来的研究成果，概述其在结构设计、工艺制造等方面的特点，以及在性能指标、三轴单片集成等方面的进展。最后，结合Z轴MEMS加速度计的研究现状，对其在结构优化、性能提升、工艺制造、单片三轴集成等方向的发展进行了展望。     

用于PolyStrata技术的光刻工艺探索研究

在高集成的射频微机电系统RF MEMS（Radio Frequency Micro Electro Mechanical System）器件的发展趋势下，三维集成工艺的研究越来越多。基于PolyStrata技术的三维多层堆叠同轴器件以其无色散、低损耗、超宽带的优势脱颖而出，PolyStrata技术使用紫外厚胶作为牺牲材料，对光刻胶粘附性、精度、工艺兼容及释放性能要求高，常规厚胶难以满足。探索A、B两种紫外光刻厚胶，对两者工艺参数及图形质量进行对比研究。结果表明，光刻胶A厚度均匀性为98.6%，图形偏差小于10μm；光刻胶B图形偏差小于5μm，但均匀性较差，约80.4%。     

基于小型一体化MEMS惯性组合单元的应用研究

介绍基于小型一体化MEMS惯性组合单元的发展和应用情况,结合MEMS惯性组合导航解算软、硬件设计的特点,阐述MEMS导航系统的工作原理,分析空间飞行器使用MEMS进行导航的关键技术,对我国开展MEMS惯性组合的研制提出建议.     

一种硅深刻蚀中抑制Lag效应的新方法

在MEMS器件加工过程中,采用ICP刻蚀不同深宽比的三维结构时,由于Lag效应的影响,使较大尺寸的线条有较快的刻蚀速率,导致刻蚀深度的差异.为了抑制Lag效应,本文以S.L.Lai的三阶段模型为基础,提出一种可以对Lag效应进行补偿的刻蚀模型.     

MEMS偏航角速度传感器在旋转导弹稳定回路中的应用

在旋转导弹稳定回路中，采用MEMS偏航角速度传感器用于弹体偏航角速度的测量，偏航角速度传感器是旋转导弹控制回路的重要组成部分。提出了一种全新的MEMS偏航角速度传感器技术方案，解决了MEMS偏航角速度传感器正交耦合、力学环境适应性、波形畸变等问题，实现了旋转导弹偏航角速度信号的精确测量。