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本文设计了一种数控机床用压电陶瓷执行机构,并对控制系统进行了整体设计和分析,重点提出了电压/电流复合控制方案,简化了控制过程,降低了控制的复杂度,较传统压电驱动器提高了压电陶瓷材料执行机构的控制线性度,同时增强了系统的静态稳定特性和动态响应特性。 相似文献
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液体静压导轨及其驱动系统的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
超精密机床的性能,取决于关键部件的质量。本文对超精密机床关键部件液体静压导轨及其驱动系统的研究进行了叙述。 相似文献
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介绍了滚珠摆式地平表的工作原理,分析了滚珠形成的修正力矩,计算出陀螺的修正运动规律,绘出了尖顶运动的轨迹图。指出:陀螺自转轴的起始指向对地平表的指示精度有严重影响。必须严格遵循地平表的启动程序,才能使仪表处于正常工作状态。 相似文献
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X射线光刻机中应用的精密定位工作台 总被引:2,自引:0,他引:2
嵇钧生 《航空精密制造技术》1998,(3)
为适应超大规模集成电路器件的发展,微电路图形的特征线宽愈来愈细的特点,发展了电子束光刻及X射线光刻,而X射线光刻由于其极高的分辨率,对未来的大规模集成电路器件的制作具有很大的应用潜力。随之而来的是要有高精度的定位工作台,以保证高套刻精度的要求。 相似文献
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舵机滚珠丝杠在运行过程中由于摩擦作用和电机运行产生的内部热源会导致其结构温度上升和变形,是影响滚珠丝杠副运行精度的因素之一。本文基于有限元理论建立舵机滚珠丝杠副模型,并通过在ANSYS Workbench中插入命令流的方式实现了在滚珠丝杠上施加移动摩擦热载荷,获得了滚珠丝杠副在内部热源作用下的温度、变形和应力响应特性。结果表明:滚珠丝杠轴向热流密度呈双峰趋势,且其高温区域主要集中在螺母行程范围内的中间区域;随着转速的增加,滚珠丝杠各处温度及其波动幅度加大;丝杠最大热应力位于与轴承配合的轴肩最外侧处。 相似文献