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建立了面向复杂光学表面的大气等离子抛光系统,并用该系统进行硅片表面加工的实验研究.研究了CF_4、SF_6两种气体的放电特性以及加工效果,得到了加工速率与功率,流量间的关系,并通过原子力显微镜观察了加工后的表面质量. 相似文献
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从理论上建立了离子束抛光中切向定位误差对加工残差影响的模型,分析发现了该误差对加工残差的影响与面形的梯度有关.特别地分析了定位误差对不同频率成份误差的影响规律,并进行了仿真研究,验证了残差大小与相对定位误差成正比这一结论.同时利用相对定位误差对残差影响理论,评价了KDIBF1600离子束抛光机的设计精度,机床设计精度满... 相似文献
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新的反射镜
从牛顿到罗斯,在反射望远镜将近两个世纪的历史中,金属做的镜子乃是前进的障得。铸镜用的青铜易于腐蚀,不得不定期重新抛光,结果消耗了大量时间和劳动。有些金属耐腐蚀性好,却比青铜要重,而且昂贵。 相似文献
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球轴尖系惯性导航仪表中的关键零件之一,用NiCrA1弹性合金制成。应用自制拉管装夹,在UL-130车床上加装被改造的金相双管显微镜,在放大的视野下加工检测。自制专用刮刀,初步刮削成型;用研磨套管研磨,抛光,完成半精加工和最终精加工;特制非标准黄铜反顶尖,采用两顶尖顶持磨削,确保了球头和圆柱部0.001mm的同轴度。磨削时的顶持力,球头最终尺寸的掌握,在相当程度上依靠工人的操作技能。工件的圆度、球度、同轴度在泰勒森2000型圆度仪上检测,轴向尺寸加工时采用特制的平测头百分表实现在线检测。零件球头的球度达0.065μm;表面粗糙度Ra=0.02μm;尺寸精度φ0.3~(±0.001)mm;相对于装配定位轴的同轴度达0.5μm;硬度达HRC61~63;120倍镜检无斑点;配宝石轴承孔的单面间隙0.0015~0.0025mm。 相似文献
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