美国X光刻研究中心CXrL

美国Ｘ光刻研究中心ＣＸｒＬ建于１９８３年的美国威斯康星大学麦迪逊分校（ＵＷ－Ｍａｄｉｓｏｎ）Ｘ光刻研究中心ＣＸｒＬ（ＣｅｎｔｅｒｆｏｒＸ－ｒａｙＬｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）是以推动半导体工业的进步为其研究与发展目标．ＣＸｒＬ的工作专为使用Ｘ光刻（ＸＲＬ）...     

非球面曲面光学零件超精密车削工艺研究

介绍了用金刚石单点车削(SPDT)的方法在"Nanosys--300非球面曲面超精密复合加工系统"数控机 床上加工非球面曲面类光学零件时对加工工艺的要求。     

应用正交多项式拟合模型对测试系统进行静态标定

对于固体火箭发动机压力测试系统一般要求是线性的 ,即被测量和输出的幅值成比例关系 ,但由于测试系统各环节的准确度所至或者由于外界或内部随机因素的影响 ,造成测试系统的非线性误差。针对测试系统的静态标定问题 ,分析了目前采用的平移端点法、分段直线法、高次多项式等拟合模型在应用上的不足 ,探讨了正交多项式拟合模型在应用上的优点。该方法不需解方程组 ,计算速度快、准确度高、程序容易编制 ,便于在线实现。     

平面步进电机超精三坐标控制系统

简介了一种用平面步进电机作为执行元件的超精三坐标控制系统的基本结构、原理及实现方法。该系统采用了全新的步进电机控制方式、多坐标动态激光测量系统、高性能计算机控制等技术，可实现极高的坐标定位精度。系统在超大规模集成电路制造等现代微纳米技术中具有重要的实用价值。     

基于LODTM的大口径太赫兹波束控元件确定性超精密加工

为解决大口径太赫兹波探测系统束控元件加工精度差、效率低的难题,本文提出了一种利用LODTM数控光学加工机床进行SPDT(单点金刚石车削)制备太赫兹波束控元件的方法。该方法属于确定性加工范畴,通过使用单晶金刚石刀具进行超精密切削加工,可直接得到适用于太赫兹波段的高面形精度的反射及透射类元件。针对铝基金属材料进行了加工工艺实验,得到了口径Φ300mm的太赫兹雷达主反射镜;并利用精密坐标测量技术对主反射镜的面形精度进行检测,其检测结果优于设计指标。实验表明,基于LODTM确定性超精密加工得到的太赫兹波束控元件具有面形精度高、表面光洁度好等优点,可实现太赫兹波探测系统的高精度和低成本目标。     

波面激光干涉仪在超精密加工中的应用

介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。     

光学非球曲面中高频面形误差的控制与补偿技术研究

本文分析了非球曲面中、高频面形误差的产生原因及作用机理,对面形精度有直接影响的切削刀具、切削参数、加工路径、切削状态、测量方法、工作环境等因素,提出了优化选择的规则和控制策略;给出了减小误差的补偿原理和编程设计方法,并在数控机床上进行了编程补偿试验,结果证明面形误差得到了有效控制。     

日本三丰A311三坐标测量机改造

一、概述我国曾从国外引进一批坐标测量机。达些进口设备大多价格昂贯,机械本体性能良好,但数据处理系统陈旧落后,功能差,难以开发。而且在设备维修和元器件更换方面都存在着很大困难,严重影响设备的正常运转。从经济效益和开发进口设备潜力的角度看,应用现     

电导率仪在确保喷气燃料质量中的重要作用

喷气燃料是非导电物质，其体积电阻在10^11～10^15范围内，因此在生产、贮运、加注和使用过程中极易产生静电荷。当积聚到一定程度时，产生的静电火花可引燃而导致重大灾害。据统计美国空军从1966年到1980年间，因喷气燃料静电事故造成飞机爆燃事故53起，死亡7人，毁机7架。我国从1968年～1986年间，因喷气燃料静电事故引起飞机失火14起，油罐槽车着火20余次。     

直线电机在超精密加工技术中的应用和发展

介绍了目前国内外直线电机技术在超精密加工技术中的应用和发展情况,指出直线电机所具有的高动态性能、高精度和免维护的特性是传统旋转电机无可比拟的;在超精密加工中,应用直线电机驱动技术正成为国内外的研究热点和发展趋势.