共焦扫描光学显微镜的工业应用

共焦扫描光学显微镜开拓了点探针光学扫描系统三个独特的功能:差分相衬、共焦剖面和光束感生电流(OBIC)像。本文叙述了这些功能在材料显微术、半导体失效分析、生物显微术上的应用,概述了激光扫描共焦显微镜的设计特点。     

纳米材料表征用扫描探针显微镜

纳米材料研究中不可缺少的分析工具是扫描探针显微镜，本文将介绍这种显微镜的简史、种类、工作原理、最新发展及应用情况。     

光电显微镜在孔径测量中的应用

静态光电显微镜在测量中可进行非接触瞄准，提高了瞄准精度，而且为检测自动化提供了可靠的基础，结合光显微镜的瞄准原则，建立数学模型可测量内孔孔径。     

声学显微镜及其应用研究

本文较详细地介绍了声显微镜的结构、成像原理、图像处理以及在许多领域的广泛用途。     

精密圆台法测量圆弧半径

1显微镜上测量圆弧半径R的原理a．弓高弦长法（见图1）R＝L2／（8SH）＋H／2b．增大弦高法（见图2）C．坐标法（见图3）R＝BC／2·sinB其它还有几种方法，例如：R镜头法、米字线相切法等，其精度都比上述方法低。为了提高圆弧半径的测量精度，《计量技术》1986年12期介绍了“增高法”，即本文的b法。由于短圆弧的半径一般较大，而孤长和弦高较短．以上方法都很难满足半径的公差要求。多次测量中，所算出的半径值不稳定就足以说明这个问题。为了提高圆弧半径的测量精度，必须寻求新的测量方法。2精密圆台法测量圆弧半径将被测圆弧置于“…     

一种基于样膏的间接测量方法研究

受被测件形状和结构的制约,使测量设备的测头不易触及被测量部件,或者光学仪器无法有效成像。可将被测量用样膏转化为能够测量的同等量,使用精密仪器测量该同等量,从而实现复杂位置尺寸的测量。     

扫描探针显微镜扫描器运动误差的研究

对由压电陶瓷的压电误差造成的扫描探针显微镜扫描器的运动误差进行了较详细的实验研究和理论分析,分析了各项误差的产生原因及其实验现象,据此可对误差进行判断和修正。     

智能万能工具显微镜

叙述了由万能工具显微镜（万工显）计算机辅助测量系统在应用中功能的不足，从而进展到智能万能工具显微镜的过程与方法，简化操作，同时提高了微机的时空利用率。     

万能工具显微镜测量活塞杆导槽

我所从俄罗斯引进的AK630产品零件活塞杆,是一个精度要求高、形状较复杂的工件（见图1）。活塞杆上有两个导槽,其中一个导槽是由不同导角的三段组成,要测量导角及导槽中心点距离等参数,其测量难度较大。经我们在万能工具显微镜上测量,得出较理想的测量结果。现将测量方法介绍如下。1测量要求按照图纸要求,主要测量以下几个尺寸：①导槽中心点至端面的距离L;②导槽的导角a;③槽底距中心的高度h;④导槽与健槽旋转角儿2测量方法依照该工件的精度要求,选用了万能工具显微镜进行测量（以下简称万工显）。针对该工件导相的特殊形状,…