衬底温度可控强脉冲电子束烧蚀沉积LiNbO3薄膜工艺研究

介绍了在不同衬底温度下,用强脉冲电子束在单晶硅(110)衬底上沉积LiNbO3薄膜的工艺过程,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的试验结果.使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、光电子能谱(XPS)等方法,对薄膜的成份、晶体结构及表面形貌进行分析测试.采用表面轮廓仪测定LN薄膜的膜厚分布均匀性等.     

强流脉冲电子束烧蚀法沉积Li NbO3铁电薄膜

介绍用脉冲电子束烧蚀法在不同温度的单晶硅 (1 1 0 )衬底上沉积铌酸锂铁电薄膜 ,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的实验结果 ;使用扫描电子显微镜 (SEM)、X射线衍射 (XRD)、光电子能谱 (XPS)等方法 ,对薄膜的成份、晶体结构及表面形貌进行分析测试。采用表面轮廓仪测定 LN薄膜的膜厚分布均匀性等。文中探讨了靶材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象。研究表明 ,这种薄膜制备方法有许多独特之处 ,随着该项技术的不断改进和发展 ,将为光电集成电路提供一种新工艺和新技术     

化学液相沉积制备PbSe薄膜生长过程及其性能研究

采用化学液相沉积方法在醋酸铅溶液体系中制备了厚度在微米量级的PbSe薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射和红外光谱分析等测试手段研究了PbSe薄膜的生长过程以及沉积时间对薄膜相结构、表面形貌和红外透光性能的影响.研究结果表明:随着沉积时间的增加,薄膜致密度增大,Se/Pb原子比增加,都为表面富Se的PbSe薄膜;在不同沉积时...     

复合薄膜表面技术研究进展

概述了复合薄膜表面技术研究进展以及在航空，航天等方面的应用，并提出了有待深入研究的问题。     

全固态薄膜锂电池研究进展和产业化展望

全固态薄膜锂电池利用固态电解质替代传统电解液,采用多层薄膜堆垛的平面结构,属于新一代的锂离子电池,在军民两用的可穿戴设备、便携式移动电源、汽车和航空动力电池等领域应用前景广阔。该类电池因高安全性、长循环寿命、高比容量和高能量密度等优势性能受到业界广泛关注。本文概述薄膜锂电池的分类和充放电原理,总结正负极、电解质薄膜材料的发展历程和薄膜制备手段的改进,对比各类电池材料的电化学性能,引入该方向最新的研究进展:三维薄膜锂电池,可变形的柔性电池,高电压、大容量电池组。汇总国外商用电池产品、关键优势技术、电池制备设备,提出薄膜锂电池亟待解决的科学问题和国内潜在的产业化方向。     

纳米薄膜脉冲激光沉积技术

简要介绍了脉丫激光薄膜沉积（PLD）技术的物理原理、独具的特点，介绍了在PLD基础上结合分子束外延（MBE）特点发展起来的激光分子束外延（L－MBE），以及采用L－MBE技术制备硅基纳米PtSi薄膜的结果。     

金刚石薄膜

金刚石是一种超硬而且几乎不产生摩擦力的材料。它具有耐热、耐冷、耐腐蚀和耐磨的性能。它能透过X 射线和绝大多数波长的光线,包括红外和紫外光,它不导电却导热,是理想的既导热又绝缘的材料。其抗宇     

新型电接触薄膜保护剂的发展

DJB-823电接触固体薄膜保护剂是把润滑剂与金属缓蚀剂融成一体的新型产品,既可防止金属接点的磨损,又可防止各种腐蚀介质对金属的浸蚀,对银、铜、锡、锌、铝和铅-锡合金等多种金属有明显的保护作用。文中介绍了电接触保护剂的防护作用及导电机理,DJB-823保护剂的电气和物理性能,保护剂的配制、涂覆和应用。     

溅射工艺对有机基底氧化钛薄膜应力的影响

采用常温下靶面进气的直流反应磁控溅射方法在柔性聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上制备氧化钛薄膜,通过正交试验设计沉积工艺条件(溅射功率、Ar:O2、溅射气压和镀膜时间),分析各因素对薄膜应力水平的影响.研究表明,在试验范围内,溅射功率和镀膜时间对薄膜应力值的影响较为显著,而Ar:O2和溅射气压的影响相对较小.     

薄膜温度传感器的研制及应用

一种新型的薄膜温度传感器,采用真空镀膜的方法制作在涡轮叶片表面,两者构成一体,可以真实反应表面温度。传感器的质量小、响应快,对叶片内部换热和表面燃气流无干扰。 传感器的敏感元件为铂姥_(10)-铂热电偶,测温上限可达1000℃,测量精度为±3％。     

超导材料及其在航天技术上的应用前景

1986年以来,世界范围内出现了“超导热”,超导技术获得飞速发展。本文简要介绍了国内外超导材料与超导薄膜研究所取得的进展,探讨了超导材料在航天技术上的应用前景。     

超微粒SnO2薄膜器件气敏特性的研究

本文介绍了作者采用半导体IC平面工艺技术,成功地研制出了超微粒SnO_2薄膜器件,并对该器件的氧气敏感特性作了研究,得到了该器件的主要特性参数。对其灵敏度特性曲线的研究表明:该器件不仅对低浓度氧气敏感,而且对高浓度氧气也敏感;并得到了超微粒SnO_2薄膜器件灵敏度特性所遵循的客观规律,即logR_s=0.72logC+0.85。     

孔位对涡轮叶片表面气膜冷却换热系数的影响

采用放大的叶片模型，利用大尺寸低速线性叶栅风洞进行实验，测量了涡轮导向叶片表面不同位置单排气膜孔喷射时下游的换热系数，研究了孔排位置、吹风比的影响。风洞实验段由3个叶片组成，中间的叶片为试验叶片，由优质木材制成。试验叶片表面上开有15排气膜孔，吸力面3排，前缘区6排，压力面6排。实验中吹风比的变化范围是0.5～2.5。研究结果表明：由于气膜孔排位置的不同，喷气对换热系数的影响范围不同，换热系数受吹风比影响的变化趋势也有所不同。     

ZnO薄膜气敏元件

通过在Al2O3衬底上粉末溅射ZnO做出了气敏特性和稳定性较好的ZnO薄膜气敏元件,实现ZnO薄膜的实用化,表明了ZnO是除SnO2外又一种新的气敏基材料.文中还对ZnO薄膜有关气敏特性和元件的气敏电流IG随酒气浓度C变化的规律进行了介绍.     

Investigation of Formation Process of the Chrome-free Passivation Film of Electrodeposited Zinc

The feasibility was investigated to substitute chrome-free passivation treatment of electrodeposited zinc in a titanium bath for chromate passivation treatment. The formation mechanism of the chrome-free passivation film was further analyzed. The surface mor- phologies and the elemental compositions of the treated samples with varied immersion times were observed by scanning electron mi- croscopy (SEM) and determined by energy dispersion spectrometry (EDS), respectively. The electrode potential of the sample surface was recorded in the film formation process. The changes of the electrode potential are in accordance with that of SEM and EDS of the sample surface. The results of X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) show the chrome-free passivation film composed of ZnO, SiO2, TiO2, Zn4Si2O7(OH)2, and SrF2. The anode zinc dissolution and the local pH value increase due to the cathode hydrogen ion reduction process result in the formation of the chrome-free passivation film. The macro-images of the chrome-free passivation films formed on electrodeposited zinc show that the color of the film changes from blue to iridescence with the increase of the immersion times.     

黑色金属室温薄膜磷化工艺研究

本文总结了在室温条件下于碳钢表面进行磷化处理的研究概况。研制了弱碱性和中碱性的高效能除油液;在表面调整剂中添加了SJ稳定剂,提高了表面调整剂的质量;研究出了以锌盐为主盐的室温磷化配方及工艺。所得磷化膜和磷化膜—涂膜的质量达到或超过了GB6807-86中规定的技术要求,与国际上应用的帕卡濑精磷化工艺相当。本工艺的优点是磷化处理在室温(16～35℃)进行,从而大大节约了能源、减少了对环境的污染。     

飞机表面薄膜减阻技术的发展

阐述了国内外飞机表面薄膜减阻技术的发展和应用情况,提出了我国在薄膜减阻技术研究中应继续开展的主要工作。     

薄膜硬度计算方法

为了将薄膜本征硬度从所测复合硬度中提取出来,目前有很多计算或描述的模型和方程。本文介绍了目前提出的计算薄膜硬度的方法和模型,对各方法和模型进行了分析比较,并对其未来发展方向进行了展望。