微电子机械系统的发展与应用

在介绍了微电子机械系统的起源和特点的基础上，对微电子机械系统的加工、封装测试、及应用进行了较全面的论述，提出和展望了其广阔的发展前景。     

论微电子机械系统MEMS

简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;探讨了微电子机械系统的发展应用前景     

振动式微电子机械系统的非线性动力学

让我们研究一种微电子机械系统转换陀螺仪，当测试块进行重要位移时，该支撑棵的非线性硬化特征变的更为明显。因此，该结构的谐振随着较高频率的变化而弯曲。这一特征用于简单的同步感应和驱动反应从而增加微电子机械系统陀螺仪的感应度。通过测试结构设计进入支撑揉的高失真区域，它的非线性振动在实验性和数值性上都进行了研究。一般情况下，一个简单的非线性集合参数模型时可以充分解析该陀螺仪系统的，并且通过半分析整合方法可以很快的得出该系统动力学反应的稳定和不稳定部分结构解析。     

便携式蒸汽压缩制冷系统的熵产分析

介绍了基于微电子机械系统(MEMS)所研制的便携式制冷系统, 并分析了随着制冷系统尺寸的减小系统各个部件熵产率的变化情况.尽管没有对熵产做定量评价, 但是可以得出压缩机是便携式制冷系统中最难微型化的部件, 便携式制冷系统成功运转的关键就是微型压缩机的研制, 而且必须尽量减少蒸发器的冷量损失.      

空间时代材料工艺的新进展：（Ⅲ）新型陶瓷纤维及微电子复合材料

本文在介绍了当前世界上主要研制生产的各种陶瓷纤维基础上,重点介绍了最新研制的PRD-166氧化铝纤维和AlN氮化铝纤维。PRD-166纤维抗拉强度较FP氧化铝纤维提高50%,高温性能也有很大提高,AlN纤维导热系数是FP氧化铝纤维的3倍,用陶瓷纤维制备的复合材料FP/PI和AlN/Teflon具有优异的介电性能与导热性能,是理想的微电子复合材料。     

纳米压痕法表征微电子焊点界面的力学性能

通过对微电子共晶SnBi/Cu焊点界面的微观力学性能的表征,介绍了纳米压痕法测量硬度、弹性模量、室温蠕变速率敏感系数的方法和原理.用恒定载荷法(4mN)测量了界面各相的硬度和弹性模量,测量结果表明:焊点界面处Cu6Sn5、Cu3Sn、Cu、Bi、Sn各相的硬度平均值分别是6.0、2.8、1.6、0.7、0.3GPa;弹性模量分别为117.0、146.0、127.9、58.6、49.5GPa;共晶SnBi焊料经120℃7天时效后,硬度为0.22GPa(恒定载荷50mN),弹性模量为73GPa,室温蠕变敏感指数为0.115.     

航天微电子技术中AlN 陶瓷的应用

1 引言 由于现代武器系统的控制和制导几乎均由电子装置组成,所以微电子技术一旦与武器系统紧密结合,必将使武器的命中率、反应速度、机动性能大为改善,是新一代武器系统小型化、微型化、电子化、信息化、智能化的唯一有效的技术途径。尤其是VLSI、ULSI、VHSIC 对整个军用武器装备,航天、国防现代化已不再是基础技术,同时也是核心型技术、先导型技术,关键技术。与此同时,半导体工业也被誉为支撑电     

从F－22看第四代战斗机机载设备制造技术

以Ｆ—２２战斗机为例，综合分析了第四代战斗机机载设备中一些关键产品的主要制造技术。如精密和超精密加工技术、航空微电子制造技术、光电及微型传感器制造技术、新型特种材料构件制造技术以及精密复杂零件的计算机辅助制造技术，从中反映了美国发展这些关键制造技术的现状。     

航空工业出版社精品书信息

《航空燃气涡轮发动机机械系统设计》本书简要地介绍了航空燃气涡轮发动机机械设计的发展历史、现状及未来发展动向,并全面、系统地介绍了机械系统所包括的发动机主轴滚动轴承、主轴承腔、滑油冷却系统与其中的组件,附件传动系统和密封装置以及密封     

国际惯性器件发展现状和趋势

激光陀螺是当前惯性技术中的主流产品,但光纤陀螺正逐渐成熟,在部分应用中将逐步取代激光陀螺,微电子机械系统(MEMS)陀螺也逐渐在战术级应用中取代激光陀螺和光纤陀螺,这对于战术级激光陀螺和光纤陀螺来说都是极大的挑战。专家认为,将来有可能研发纳米微机电系统(NEMS)、光学NEMS甚至生物NEMS。     

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《航空燃气涡轮发动机机械系统设计》本书简要地介绍了航空燃气涡轮发动机机械设计的发展历史、现状、及未来发展动向,并全面系统地介绍了机械系统所包括的发动机主轴滚动轴承主轴承腔、滑油冷却系统与其中的组件、附件传动系统和密封装置以及密封憎压系统的设计研究内容设计方法,主要的设计考虑和设计准则等。     

与中国航空市场一起成长

自1937年成立至今,作为全球电子测试测量仪器和微电子器件的领先供应商,艾法斯(Aeroflex)公司的产品广泛应用于航天、航空、国防、无线通信、     

机载核心处理平台与网络技术的应用前景

微电子技术的高速发展,为机载核心处理平台的技术进步提供了强有力的支撑。本文从机载核心处理平台及网络的“随需安装”、多核处理器技术应用、高安全操作系统技术、机载信息安全技术、可重构计算技术、机载网络技术以及新型散热技术等方面,探讨了机载机载核心处理平台与网络技术的应用前景。     

航空发动机机械系统技术研究

针对航空发动机机械系统具有专业技术复杂,故障多发等特点,通过对国内外航空发动机机械系统的技术分析,阐述了传动、润滑、密封和主轴轴承4个专业的技术水平现状及未来技术发展趋势,并归纳总结了目前国内、外在航空发动机机械系统研制过程中的常规做法。认为提高从业人员技术能力,完善专业设计规范和提升机械系统技术水平是当务之急。从业人员应关注设计细节,注重经验积累,用数据说话,重视基础研究工作;同时建议积极开展国际技术合作,加强航空发动机机械系统专业技术交流。     

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《航空燃气涡轮发动机机械系统设计》本书简要地介绍了航空燃气涡轮发动机机械设计的发展历史、现状、及未来发展动向,并全面系统地介绍了机械系统所包括的发动机主轴滚动轴承主轴承腔、滑油冷却系统与其中的组件、附件传动系统和密封装置以及密封增压系统的设计研究内容设计方法,主要的设计考虑和设计准则等。本书内容较全面。对从事航空     

航空专用集成电路的技术及产业发展

航空专用集成电路是航空电子系统的核心和基础,本文从微电子技术的发展出发,介绍了信息系统的芯片集成和多芯片组件／系统级封装技术。在此基础上给出了航空专用集成电路的基本概念及类型,介绍了国外航空专用集成电路产业的发展状况,对商用芯片应用于军事领域可能产生的问题以及航空专用集成电路的关键技术进行了分析。     

欠驱动非完整机械系统的鲁棒控制

讨论了一类不确定欠驱动非完整机械系统的跟踪控制问题。基于所定义的误差方程,提出了新的鲁棒控制器。该控制器不但对系统惯性参数的不确定具有鲁棒性,而且保证了系统的跟踪误差渐近趋于零。数字仿真验证了所提出控制器的有效性。     

TiNi基形状记忆合金薄膜的相变特征研究

利用磁控溅射的方法在单晶Si和非晶SiO2基片上制备了TiNi和TiNiCu形状记忆合金薄膜,并利用示差扫描量热法和基片曲率法研究了薄膜的相变特征及应力随温度的变化.研究结果表明450℃溅射形成的记忆合金薄膜具有良好的形状记忆效应,在微电子机械系统有很好的应用前景.TiNi薄膜降温时出现R相变,因而发生两步相变,而TiNiCu薄膜中马氏体和奥氏体间直接转变.基片以及薄膜成份对相变点有很大的影响.单晶Si片作为基片时,记忆合金薄膜和基片间有很好的结合力,而SiO2作为基片时,记忆合金薄膜容易剥落.     

提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究

膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统(MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0~120 kPa(绝压)范围内压力的准确测量。     

终点电门机构在飞机机电系统交联中的应用研究

介绍了终点电门机构在飞机机械系统与电气系统交联中的应用，及终点电门机构的设计要求。在机械系统的机械传动通路中引入终点电门机构，以实现对系统执行部件的电气控制或位置指示功能，从而方便地实现系统的机械、电气交联。