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给出一个干涉系统等效平面和被测平面形貌的数学模型,用于分离仪器的系统误差,以提高面形和长度测量的精度。 相似文献
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根据近场扫描架的结构和运动特点,运用非封闭网格法布线,通过双频激光干涉仪及其直线度附件来采集各条线在Z向的直线度,用最小二乘法求出扫描架X轴和Y轴所走轨迹扫描而成平面的平面度,并分析了影响直线度测量的误差因素。 相似文献
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讨论了接触式激光干涉议的数据采集与处理系统,其特点是性能稳定,操作灵活。实验证明,该系统满足仪器分辨率为0.01μm,重复性误差在0.03μm以内的要求。 相似文献
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在超精密测量和控制技术中,对测量精度提出了越来越高的要求,如尺寸精度1nm和角度0.001。由于光栅具有精度高、抗干扰能力强、寿命长和价格便宜等优点,最近几年光栅干涉测量技术被广泛研究和使用。本文简单介绍几种在超精密测量和制造过程中常用的微纳米光栅干涉测量技术。 相似文献
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讨论了差分CEI的基本原理,分析了差分CEI的相对位置确定的误差。通过分析得出结论:在CEI基线长度为1000m时,相对角度测量精度可以达到16urad,如果增加基线距离或者结合SBI技术,测量精度会进一步提高,测量精度能够满足交会过程中相对导航、编队卫星相对位置测量、高轨卫星共位等要求。 相似文献
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三坐标测量机在世界上发展了近20年,目前已有多种型号,但其基本形式为桥式移动型,在构造上趋于成熟,近年来变化较小,研究的主攻方向是为了提高精度而制造出能够快速移动、轻且稳定的构件。但是轻和高精度是相互矛盾的2方面,追求刚性高而轻的构件困难很大,不仅成本昂贵,还给精度的进一步提高带来限制,因此,现有三坐标测量机在原理上,阻碍了精度的进一步提高。为此,约在5年之前,日本东京精密(株)与计量研究所共同协作,在利用光导纤维的激光干涉仪研究成果基础上,进行了激光跟踪计测系统的构思,日前终于完成了使用激光干涉仪… 相似文献
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接触式干涉仪是计量部门测试三等量块的法定仪器。本文介绍了一种基于接触式干涉仪的量块自动测试系统,它以光电探测替代目视估测,免除操作人员的视力疲劳,并能自动处理数据。软件系统以最新的国家检定标准编制,易学好用。 相似文献
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利用遥测信号无线电干涉仪的初始段安全系统 总被引:1,自引:0,他引:1
靶场安全问题随导弹性能的提高日趋重要。在发射场附近这一问题更为突出,因为这里导弹爆炸能量最大。诸如雷达、GPS外测系统和光测因多种原因在这里用得不多,故需要一种设备能在导弹起飞后几秒内提供有用的外测数据,该设备能提供从发射台起飞直到120秒内的导弹偏离理论弹道的数据。本文叙述的外测系统利用了无线电干涉仪的原理,从两个精密间隔的天线提取相位差测量值。这些测量值送往“试验显示设施”,转换成常用的角偏差 相似文献