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| 一种平面干涉系统的误差分离技术 | |
| 引用本文： | 严家骅,任冬梅.一种平面干涉系统的误差分离技术[J].航空计测技术,1996,16(4):29-31. |
| 作者姓名： | 严家骅 任冬梅 |
| 作者单位： | 长城计量测试技术研究所!北京市，100095，长城计量测试技术研究所!北京市，100095，长城计量测试技术研究所!北京市，100095，长城计量测试技术研究所!北京市，100095 |
| 摘 要： | 给出一个干涉系统等效平面和被测平面形貌的数学模型，用于分离仪器的系统误差，以提高面形和长度测量的精度。 |
| 关 键 词： | 平面检测 干涉仪 误差分离 |
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