Fe-Cr-Al/Si非晶态薄膜的电阻-应力特性

 对非晶态Fe-Cr-Al/Si薄膜研究了方块电阻与灵敏度、电阻温度系数、电阻率以及薄膜厚度等的关系;根据升温时薄膜电阻开始剧变推算了薄膜的晶化温度,并评估了Fe-Cr-Al/Si薄膜作为力传感器敏感材料的品质。     

热处理工艺对SnO_2微米球结构的影响研究

以SnCl_2·2H_2O和葡萄糖为主要原料,在均相反应仪中于180℃下反应24h,制备得到SnO_2与碳复合的纳米粉体,进一步通过热处理去除碳,得到有介孔的SnO_2微米球,为了研究热处理温度和保温时间对其物相和微观结构的影响规律,利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对产物的物相及形貌进行表征。结果表明,不同的热处理温度与保温时间对SnO_2微观形貌有较大的影响,在400℃、500℃和600℃保温2h得到的产物均为纯相SnO_2微米球,该微米球由大约50nm的SnO_2纳米晶组装而成,随着热处理温度的升高,SnO_2纳米晶的结晶度提高,尺寸增大。在500℃下研究保温时间(0h、2h、4h)的影响规律发现,保温时间为0h时,SnO_2呈现出杂乱分布的纳米颗粒,随着保温时间延长,SnO_2纳米晶逐渐组装成较为规则的微米球结构。研究结果可为SnO_2负极材料的结构设计提供新思路。     

新型声表面波气体传感器

介绍了声表面波（SAW）气体传感器的工作原理及器件制作，提出了1种表面波SO2传感器，它采用三乙醇胺（TEA）覆盖薄膜，分辨率可达70×10－9。还讨论了SAW气体传感器的稳定性、可靠性、灵敏度及选择性等问题，并给出了有关的实验结果。     

薄膜生长工艺对TiO_2基紫外探测器光电性能的影响

分别采用磁控溅射和溶胶-凝胶工艺制备了相同厚度的TiO2薄膜,并用以制备了金属-半导体-金属(MSM)结构TiO2基紫外探测器。通过紫外光电性能测试、扫描电子显微镜(SEM)观察及X射线衍射(XRD)分析,研究了TiO2薄膜生长工艺对探测器光电性能的影响规律。结果表明:磁控溅射工艺下,探测器的光电流虽然较低,但响应时间和暗电流远小于溶胶-凝胶工艺制备的探测器,其具备了高辐射灵敏度和快速响应特性。磁控溅射工艺制备的TiO2薄膜结构较为致密,晶界和缺陷较少,方阻较高,这是其取得优良的光电特性的原因。     

连续冷原子束干涉陀螺仪研究进展

原子干涉陀螺仪是一种实现高精度角速率测量的新型惯性器件,被认为是下一代导航技术中的核心器件。报道了在连续冷原子束干涉陀螺仪研究上的最新进展。提出了基于连续冷原子束的干涉陀螺仪方案,该方案在保证系统灵敏度和紧凑型的前提下有助于解决冷原子干涉陀螺仪低带宽和数据率的问题。利用激光冷却的~(87) Rb冷原子束作为原子光源,利用多普勒敏感的双光子受激拉曼跃迁进行原子波包的相干操控,演示了π/2-π-π/2拉曼脉冲序列的空间型原子干涉。数据估算原子干涉陀螺的短期灵敏度为7.8×10~(-5)(rad/s)/Hz~(1/2)(1s积分时间),其中干涉条纹的信噪比为15.1,系统带宽为190Hz,系统理论带宽可以达到790Hz。     

空气动力对薄膜结构动力特性的影响规律

薄膜结构刚度小、自重轻、自振频率低,对外力作用非常敏感,因此在分析其动力特性时应考虑到空气与结构的耦合作用。本文利用附加空气质量、辐射阻尼和气承刚度这一简化气动力模型来考虑空气与振动薄膜结构之间的相互作用。分别推导了附加空气质量、辐射阻尼和气承刚度的计算方法及其相应的变化规律。并进一步采用算例分析对结构在空气中的自由振动和受迫简谐振动进行了系统分析,同时探讨了气动力对薄膜结构动力特性的影响规律。     

考虑螺栓联接的转子系统振动特性分析

针对航空发动机转子振动问题,开展了螺栓法兰联接结构对转子固有特性及不平衡响应的研究。基于有限单元法,结合转子有限元模型及螺栓法兰联接结构的力学模型,建立了考虑螺栓法兰联接的转子动力学模型。基于Newmark-β法求解转子不平衡响应及固有特性,并利用ANSYS仿真软件对结果进行了仿真验证,得到了联接结构刚度对转子固有特性的影响规律。研究结果表明:转子第1阶固有频率对螺栓法兰结构的轴向刚度变化较为敏感;第2阶固有频率对螺栓法兰结构的径向刚度变化较为敏感;第3阶固有频率则对螺栓法兰结构的2种刚度变化均较为敏感;并且转子处的联接刚度会对转子的不平衡响应有一定抑制作用。     

石英玻璃机械品质因数的研究现状与展望

机械品质因数是石英玻璃关键的力学性能指标之一,反映了材料在振动过程中机械能量损耗的大小,直接影响着器件或系统的灵敏度和精度。对国内外石英玻璃机械品质因数的研究现状进行了综述,从计算、检测、影响因素和处理工艺等方面进行了介绍与分析,阐述了石英玻璃机械品质因数的特性,并对其未来研究方向做出了展望。     

低浓度电流型氧传感器的研究

合成了纳米级铂催化剂,同时利用AFM,XRD和SEM进行了表征,并将其应用于氧气电化学还原的研究.在极限电流控制范围内,氧气浓度为7×10-6～5010×10-6时,传感器的灵敏度为381nA/10-6,O2气体浓度与响应信号呈现良好的线性关系.     

柔性热电薄膜器件的研究进展

针对柔性热电薄膜器件的最新研究进展,从柔性基底、热电材料、薄膜沉积工艺、过渡层的引入和器件设计等几个方面归纳总结了在热电器件制作过程中材料和工艺选择方面应注意的问题。对各类柔性热电薄膜器件的性能对比分析表明:目前性能最佳的柔性器件采用的材料是(Bi,Sb)2Te3类合金,其单个热电偶对在1K的温差下可输出0.1~0.3mV的电压;在内阻足够低的条件下,单个热电偶对在1K温差下的输出电压与热电材料的Seebeck系数相等;增加热电薄膜的厚度能够有效地降低热电偶对的内阻,进而提高器件的输出电压。     

光纤布拉格光栅的应变／温度传感、封装、标定及补偿技术研究

研究了光纤布拉格光栅（FBG）的应变／温度传感特性、封装和补偿综合技术及FBG应变／温度灵敏度的标定方法及标定结果并推荐了工程实用的封装方法及相应的灵敏度系数;研究了FBG应变／温度交叉敏感分离技术及空分／波分混合复用技术并研制了适用于地面验证试验的FBG温度传感器,为大型结构应变场的实时监测提供了工程实用技术。     

某型航空发动机落压比调节器性能及故障分析

根据某型航空发动机落压比调节器的控制原理,建立压力比敏感元件的数学模型,分析了落压比调节器的滞环误差、不敏感区、灵敏度等影响参数。分析结果表明：πr值偏离故障是由薄膜灵敏度太差和反馈弹簧力值偏小造成的。     

ADC1210型12位A/D转换器的应用开发

 一、引言 ADC1210是美国National Semiconductor公司生产的一种低功耗、中速、低价格的12位二进制码（原码、或反码、或偏置码）逐次逼近式A/D转换器。该器件采用CMOS工艺和薄膜工艺相结合的微电子技术制成。器件中包含了R-2R梯形薄膜电阻网络、CMOS模拟开关和逐次逼近逻辑电路、以及场效应管电压比较器等有关电路。其基本技术指标为分辨     

大尺度空间薄膜地面振动试验网格膜等效理论分析与数值模拟

针对薄膜结构对空气阻力效应敏感、难以进行全尺寸地面动力学验证试验的问题,提出采用网格膜作为矩形膜面的等效结构进行地面动力学验证试验。建立了矩形膜面与网格膜的动力学等效准则,对网格膜的预应力场及结构参数进行了限定。算例数值模拟表明,在该等效准则的约束下,网格膜与矩形膜面具有基本一致的动力学特性。同时,声固耦合仿真验证了网格膜对空气阻力效应不敏感。     

浸渍-提拉法制备WO3薄膜的气敏性能研究

采用溶胶-凝胶方法制备WO3前驱液,利用浸渍-提拉法使其成膜。通过XRD分析了不同热处理温度对WO3晶体结构的影响,通过SEM图观察了不同提拉次数的WO3薄膜形貌。所得WO3薄膜的微观结构和气敏性能随提拉次数不同而有很大差异,提拉1次、2次的样品薄膜不连续,电阻过大,灵敏度无法测量;提拉3次成膜的样品电阻稳定,气敏性能最好,对NO2有很高的灵敏度。     

机载电子设备维修中的ESD防护

随着航空电子科学技术的飞速发展,各种微电子器件、膜电阻、压电晶体、薄膜器件等静电敏感元器件大量应用到民用飞机的通信、导航及电子控制等设备中,而这些静电敏感元器件的敏感电压(击穿电压)却越来越低,因此对我们在维修过程中的ESD防护要求也越来越高。ESD对元器件的损坏和对电子设备的损伤直接影响着维修质量,所以要在维修过程的各环节,尽量减少和防止ESD的危害。一、什么是ESD? ESD是英文Electrostatic Discharge的缩写,即静电荷释放。当一个物体带有过剩的电子时即称为带负电荷;而当     

脉冲激光辐射下VO_2薄膜的光限幅性能

采用反应溅射和后续退火工艺,在石英衬底上制备具有热致相变特性的VO_2薄膜,并对薄膜的光学性能进行表征。研究发现:在弱光辐射下,随着温度的改变,薄膜的透射率在可见及近红外光区会发生显著变化,具有良好的相变光开关特性;在强光辐射下,制备的VO_2薄膜同样具有良好的红外光调制深度;当脉冲激光波长为1064 nm时,随着脉冲能量的逐渐增强,薄膜的表面反射率逐渐降低,光限幅性能呈现出先升高再降低的趋势,其透射率最低可降至7%,薄膜的脉冲激光损伤阈值约为50 mJ/cm~2。     

硅纳米晶体浮栅存储器件特性研究

通过硅(Si+)离子注入使硅纳米晶体存在于SiO2层中充当离散浮栅,制造出纳米晶体浮栅存储器件,测试器件的阈值电压变化(△Vth)、耐擦写能力和数据保持能力,得到该纳米晶体浮栅存储器件的存储特性。测试结果表明,该纳米晶体浮栅存储器件具有大的△Vth和较快的写/擦速度、非常好的耐擦写能力和很好的数据保持能力,具有应用于航空航天设备中的潜力。     

气体取样分析在脉冲燃烧风洞试验中的应用

针对脉冲燃烧风洞试验条件及超燃冲压发动机燃烧室出口流场环境,设计了用于脉冲燃烧风洞流场氧气组分浓度校核及发动机燃烧室出口气流组分分析的探针取样-气相色谱分析测量系统,并在此基础上完成了对取样探针内部流场特性及燃气化学反应冻结情况分析.分析结果表明,进入探针的气流被有效冷却,能够实现化学反应冻结.利用风洞试验气流进行了系统校核,系统控制方面能够满足脉冲风洞试验测量要求,所得到的气流中氧气含量测量值与理论值吻合较好,偏差小于5%,甚至低至0.4%.利用该系统对马赫数2.6来流条件、直连式燃烧室模型燃烧工况下,出口不同位置处燃气中O2、N2和CO2等主要气体组分进行了直接测量,并进而估算了各测点处的表观燃烧效率,获得了其变化情况,所得到的结果在一定程度上反映了燃烧室中燃料的分布情况.     

面向壁面剪应力测量的底层隔板微敏感结构设计与制造

 采用MEMS技术加工的底层隔板能够为壁面剪应力的测量提供新的手段。利用有限元法(FEM)建模仿真、正交实验设计以及各因素的极差分析,考查了微敏感结构宽度、厚度和凸出壁面高度对底层隔板固有频率和压阻灵敏度的影响规律,完成了底层隔板的结构优化设计。仿真结果显示:微敏感结构厚度对隔板固有频率和灵敏度影响最大,提升敏感结构高度能够有效提高压阻灵敏度,固有频率和压阻灵敏度受微敏感结构宽度变化影响很小。基于绝缘体上硅技术,利用电感耦合等离子体刻蚀工艺形成底层隔板结构,反应离子刻蚀工艺完成对敏感结构的释放,所加工底层隔板的整体尺寸为5.9 mm×10.1 mm×0.39 mm。底层隔板的动态特性测试表明样件固有频率为1 453.1 Hz,与有限元仿真结果的最大偏差为4.4%。