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Fe-Cr-Al/Si非晶态薄膜的电阻-应力特性   总被引:1,自引:0,他引:1  
 对非晶态Fe-Cr-Al/Si薄膜研究了方块电阻与灵敏度、电阻温度系数、电阻率以及薄膜厚度等的关系;根据升温时薄膜电阻开始剧变推算了薄膜的晶化温度,并评估了Fe-Cr-Al/Si薄膜作为力传感器敏感材料的品质。  相似文献   
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