脉冲电流电铸技术的试验研究

阐述了脉冲电流电铸技术原理，重点介绍了脉冲电铸电源的研制，并进行了电铸工艺试验。试验结果表明，脉冲电流可以显著改善铸层质量，工艺效果良好。     

辅助摩擦电铸Ni-Mn合金的力学性能

利用一种新的电铸技术--游离粒子辅助摩擦电铸技术进行Ni-Mn合金的电铸试验.研究了工艺参数对Ni-Mn合金电铸层显微硬度和拉伸性能的影响规律.试验结果表明,游离粒子的辅助摩擦作用和电铸层中的锰元素共同影响着电铸层的力学性能.随着阴极旋转速率的提高,电铸层中锰含量不断增加,且游离粒子对电铸层的摩擦、挤压作用随之加强,电...     

基于复杂型面薄壁零件成形的电铸试验研究

 在航空、航天领域存在诸如风洞喷管、波导元件和叶片电极等异型薄壁零件,采用常规加工方法对这些薄壁零件进行加工时存在着难加工的问题,利用一种新型的电铸技术——阴极平动式游离粒子辅助磨擦电铸技术对其进行直接成形加工。在电铸过程中,阴阳极之间添加不导电的游离粒子,随着阴极的不断运动,游离粒子能够周期性地对电沉积层产生磨擦、抛光、挤压作用,以此来提高表面质量,强化电铸层。与传统电铸技术所制备的电铸镍层进行了对比试验,试验结果表明：游离粒子辅助磨擦电铸技术能够获得表面光亮、平整电铸层;电铸层（200）晶面的衍射强度明显降低,（111）和（220）晶面的衍射强度显著提高;电铸层的机械性能也得到了明显的改善,显微硬度和抗拉强度比传统电铸工艺提高了一倍左右。以此为基础,成功制备了复杂型面叶片阴极,其显微硬度和表面粗糙度都得到了明显改善。     

微型滤网的精密电铸

介绍了一种微型滤网的电铸工艺，详细讨论了各主要工艺步骤及获得的结果。     

精密电铸成形技术及应用

简述了电铸成形的工艺过程 ;给出了镍网、微型零件、模具等应用实例 ;综述了该技术在我国的发展状况。     

基于电化学刻蚀与微电铸工艺的微流控芯片模具制作

为解决微流控芯片模具在微电铸工艺中铸层与基底结合力差的问题,在光刻工艺的基础上,采用掩膜电化学刻蚀和微电铸相结合的方法,制作出了结合力较好的镍基双十字微流控芯片模具。针对掩膜电化学刻蚀的工艺参数进行了试验研究,选定了制作微流控芯片模具的最佳工艺参数,解决了酸洗引起胶膜脱落失效、刻蚀引起侧蚀等问题。使用剪切强度表征界面结合强度,运用剪切法测量了微电铸层与基底的剪切强度,定量分析了酸洗工艺和刻蚀工艺的参数对界面结合强度的影响。试验结果表明,酸洗20s后电铸层与基底的剪切强度相对于直接电铸提高了98.5%,刻蚀5min后剪切强度提高了203.6%。刻蚀5min后的剪切强度相对于酸洗20s后电铸的剪切强度提高了53.0%。本文提出的方法能够有效提高铸层与基底的界面结合强度,延长微流控芯片模具的使用寿命。     

电铸技术现状及发展

本文介绍了电铸技术的现状、发展及应用状况.并以铝合金及塑料芯模电铸铜、镍为例,列举了芯模选择、导电层形成及电铸等主要工序.     

电铸镍焊接热影响区低强区形成的研究

本文阐述了电铸镍焊接热影响区低强区形成的原因，试验表明采用小线能量焊接工艺可以减轻低强区对焊接接头性能的影响。     

装配式惯性开关的兆声辅助微电铸均匀性研究

在装配式惯性开关的电铸过程中,电场的边缘效应干扰了电力线在阴阳极间的均匀分布,导致铸层厚度均匀性问题突显,使得制作周期延长。为了缩短装配式惯性开关的制作周期,将兆声波引入到微电铸过程,以装配式惯性开关中电铸均匀性最差的滑块结构为例,开展改善微电铸层均匀性的研究工作。首先,利用COMSOL仿真分析软件对滑块结构有、无兆声波辅助条件下的微电铸加工过程中的电流密度分布和铸层厚度分布进行仿真。仿真结果表明,相对于无兆声波辅助微电铸加工,兆声波辅助微电铸加工可以有效改善铸层厚度均匀性。兆声波功率密度越大,铸层厚度均匀性越好。在数值模拟的基础上,对兆声波辅助电铸过程展开试验研究。试验结果表明,相对于无兆声波辅助微电铸加工,双向加载2.4 W/cm²的兆声波辅助微电铸加工的铸层厚度均匀性提高了51.78%,试验与仿真结果趋势一致。基于仿真和试验结果,将双向加载2.4 W/cm²的兆声波引入微电铸工艺,制作了总体尺寸20 mm×20mm、总高度900μm,符合设计要求的装配式惯性开关。与无兆声波辅助微电铸制作完成的装配式惯性开关相比,制作时间缩短了25%。     

电铸镍构件力－磁特性的试验研究

报道了用ＣＣＹ－８４型双探头磁应力仪及自行设计研制的自平衡型单探头磁应力仪对电铸镍的力－磁持性进行的部分基础性研究工作。研究结果表明：电铸镍具有显明的“拉磁效应”和高的力－磁特性强度，为电铸镍构件残余应力的磁性法无损检测时拉、压应力符号的正确判定提供了理论依据，并为进一步提高电铸镍构件（尤其是焊接构件）中残余应力无损检测的区域分辨率的可行性论证工作提供了重要的试验依据。     

大面积微细结构的电火花加工

采用深度光刻与电铸技术相结合的方法 ,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上 ,利用优化的微细电火花加工工艺 ,实现了大面积微细结构的精细制造     

扭叶片整体涡轮电火花成形加工技术

论述了扭叶片整体涡轮的结构特点、加工现状以及其几何造型方法。提出了基于电铸工艺来制造低损耗成形工具电极,由电火花成形加工方法加工整体涡轮弯扭叶片的高效、低成本组合工艺。根据整体涡轮叶间通道的特点以及工艺要求,研究了成形电极的运动轨迹和位姿确定。     

太赫兹馈源喇叭制造工艺综述北大核心CSCD

对太赫兹馈源喇叭制造工艺的国内外最新进展进行了综述。重点分类阐述了当前研究机构与企业最主要采用的制造方法,包括精密数控机械加工、精密电铸工艺、叠片法与增材制造方法。介绍了各种制造工艺方法国内外最新进展的典型成果,讨论了各方法在太赫兹馈源喇叭制造中的优势与局限性。依据太赫兹频段的应用发展与太赫兹馈源喇叭的产品需求发展趋势展开了分析,进一步提出了各分类工艺在该领域未来的发展方向。这为太赫兹馈源喇叭的结构设计与制造工艺的后续发展与研究具有重要的指导与借鉴意义。     

基于电化学沉积的高深宽比无源MEMS惯性开关的研制

基于电化学沉积技术在金属基底上制作了一种新型的无源MEMS惯性开关。针对高深宽比、细线宽微电铸用光刻胶模具制作过程中,由于SU-8胶膜严重侧蚀导致的胶膜制作困难、质量低下的问题,进行了紫外光刻试验研究。试验研究了不同曝光剂量和后烘时间对SU-8胶光刻效果的影响,优化了光刻工艺参数。采用降低曝光剂量和延长后烘时间相结合的方法解决了高深宽比、细线宽SU-8胶膜制作困难的问题,制作出高质量的微电铸用光刻胶模具。最后,在上述试验结果基础上制作了一种高深宽比、无源MEMS惯性开关。其外形尺寸为3935μm×3935μm×234μm,其中最细线宽12μm,单层最大深宽比达10∶1,多层最大深宽比达20∶1。     

大面积微细结构的电火花加工

采用深度光刻与电铸技术相结合的方法,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题.在此基础上,利用优化的微细电火花加工工艺,实现了大面积微细结构的精细制造.     

一种新的电铸阳极轮廓设计方法

 拉瓦尔喷管的电铸层有一定的均匀性要求.在电铸过程中,电铸阳极的轮廓和位置决定了阴极表面电流密度的分布,并最终影响电铸层的均匀性.为此,设计了一种新的阳极轮廓优化方法,在进行阳极轮廓优化设计时,只需在编制的优化程序中输入阴极轮廓,通过ANSYS软件进行电场分析,程序根据阴极上不同位置电场强度的强弱,自动逐步调整对应点的阳极轮廓,以改善阴极表面的电流密度分布均匀性,即可得到优化后的阳极轮廓.采用该优化方法,可以快速得到所需的阳极轮廓,且通用性强.对某型喷管外壁进行阳极轮廓优化设计后,制得了厚度最大处与最小处比值为1.26的电铸镍层.     

特种金属材料及工艺事业部简介

<正>航天材料及工艺研究所成立于1957年,是中国航天领域材料及工艺技术研究中心。其下属的特种金属材料及工艺事业部,主要从事航天型号用黑色金属、有色金属、粉末冶金材料、高温抗氧化涂层及特种加工工艺的研究和生产。开展了航天用铝合金、钛合金、铌合金、铜合金、镍基高温合金、新型高强韧钢、金属热防护系统、高温抗氧化涂层以及高性能永磁合金等材料研究,并进行了旋压成形、粉末冶金成形、电铸成形、超塑成形、锻造成形以及无机高温抗氧化涂层制备等工艺技术研究。五十年来,事业部紧密结合航天型号发展,研制开发出大量高性能金属材料新产品,推进了中国航天事业的快速发展。特种金属材料及工艺事业部现有高性能金属材料及工艺技术、粉末冶金材料及工艺技术、姿/轨控发动机材料及工艺技术、精密成型加工、电铸工艺技术以及溅射靶材制备技术共六个专业组。在职人员70余人,其中硕士以上学历人员占一半以上,拥有一支高素质的专业技术和经营管理团队,专业从事基础材料和高技术航天金属材料研究、特种工艺产品研发以及航天产品生产。通过了军品质量体系认证,取得了武器装备科研生产许可证,并承担总装备部、国防科工委预先研究、国家"863"高新技术等科研课题,先后取得国家、部委科技进步奖130多项。     

兆声波精密微电铸设备及相关工艺研究

兆声波具有高声强、低空化、声流扰动的特点,将其应用于电化学沉积领域有着明显的优势。设计了一种贴片式双向兆声辐照的兆声波反应器,组合其他功能模块,制作了一款集成化的兆声精密电铸设备。以铜基底上镍的电沉积过程为研究对象,考察了不同兆声波作用形式对铸层厚度均匀性及表面形貌的影响,对比了无兆声作用、单侧兆声作用、双侧交替兆声作用下的电铸层厚度均匀性及电铸层表面形貌。电铸完成后,镍铸层的平面度值分别为:无兆声15.03μm、单侧兆声15.36μm、双侧兆声10.91μm。单侧兆声振动产生的驻波条纹及偏向推积现象影响了铸层的厚度均匀性及表面形貌。双侧交替兆声辐照克服了单侧兆声作用存在的偏向推积问题。相对于无兆声作用及单侧兆声作用,双侧兆声辅助电沉积获得了更均匀的电铸层厚度以及更好的沉积层表面形貌。     

脉冲电铸镍锰合金及其微观组织结构分析

利用冲液装置和高频窄脉宽脉冲电流,开展了镍锰合金的脉冲电铸试验。采用扫描电镜、透射电镜 及x射线衍射法对电铸层的沉积表面形貌、晶粒大小、相结构和结晶取向进行了测试与分析。     

基于ANSYS分析的电铸阳极设计

电铸阳极的形状和位置决定了阴极表面电流密度的分布,并最终影响金属沉积层分布的均匀性及 其材料性能。本文基于有限元软件ANSYS对电铸阳极的形状进行优化设计,并用实例进行验证,效果良好。