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论述了为研制液体火箭发动机关键件——层板式喷注器而采用的光刻工艺技术。该项工艺技术交叉采用微电子领域的光刻技术与精密机械加工技术 ,达到了超精加工的目的 相似文献
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采用自主设计研制的高精度双面自对准光刻模具和标准MEMS光刻工艺技术研制出整体式层板催化剂床板片,简要介绍了光刻工艺原理、工艺流程和工艺过程。光刻加工出的板片满足设计要求,板片经过电镀和真空扩散焊接工艺形成了整体式催化剂床,该床成功地通过了热点火试车。催化剂床床载为16.5g/(cm2·s),分解效率为97%,室压粗糙度小于2%。 相似文献
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光刻技术在流体动力密封研究中的应用 总被引:2,自引:2,他引:2
主要介绍了流体动力密封螺旋槽动环光刻工艺的特点、原理、工艺过程、工艺流程、槽深控制方法以及应用情况,提出了采用高能束流刻蚀螺旋槽动环的新途径.结果表明,采用标准MEMS光刻工艺技术和化学铣切工艺技术,可加工出满足设计要求的螺旋槽动环. 相似文献
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介绍了膜片光刻的工艺原理、工艺过程及其特点,论述了利用双面自对准光刻模具与膜片母材厚度之间的关系控制膜片槽深的机理,介绍了光刻膜片在膜片阀中的应用情况,经爆破试验和发动机热试车表明:膜片阀设计合理,膜片光刻工艺可行。 相似文献
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光刻技术在金属板片刻蚀上的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中。 相似文献
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工艺标准化是工艺技术工作的重要内容,是搞好科研、生产工作的重要环节和有效手段。本文着重介绍了在贯彻和制定工艺标准过程中的一些作法和原则,从而使工艺技术水平不断提高,产品质量控制得到可靠的保证。 相似文献
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根据生产实践,总结介绍柱塞泵中的柱塞组件收口的对开模,三轮滚压、收口工艺技术。利用此项工艺技术可保证组件收口合格率达95%以上。 相似文献
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一、工艺标准化的意义 工艺工作是科学技术在现代工业生产中作为生产力最活跃的部分,是航空航天工业的重要基础工作。企业只有加强工艺管理,严肃工艺纪律,不断提高工艺技术水平,才能保证产品质量的稳定与提高。而要加强工艺管理和提高工艺技术水平,都离不开工艺标准化。 相似文献