| 基于球形磨头抛光技术的SiC抛物面镜抛光 |
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| 引用本文： | 牟志超,郑子文,舒勇,王贵林.基于球形磨头抛光技术的SiC抛物面镜抛光[J].航空精密制造技术,2012,48(5):1-4. |
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| 作者姓名： | 牟志超 郑子文 舒勇 王贵林 |
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| 作者单位： | 1. 中国空气动力研究与发展中心,绵阳,621000
2. 国防科学技术大学机电工程与自动化学院,长沙,410073 |
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| 摘 要： | 针对用CCOS小工具研抛技术抛光材质较硬以及陡度较高的SiC非球面镜时,面形误差收敛太慢,研究了一种新型的球形磨头抛光技术,其去除函数稳定性较好,形状趋于高斯分布且束径也较小,对修正局部面形误差具有较好的效果.为了使该技术能应用于抛光,对球头抛光工具进行了刀具补偿.
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| 关 键 词： | 抛光 球形磨头抛光工具 刀具补偿 SiC抛物面镜 |
Polishing Process for a SiC Paraboloid Mirror Based on Spherical Polishing Technology |
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| Institution: | MOU Zhi-chao,ZHENG Zi-wen,SHU Yong,et al.(1.China Aerodynamics Research and Development Center,Mianyang 621000; 2.College of Mechatronics Engineering And Automation,National University of Defense Technology,Changsha 410073) |
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| Abstract: | |
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