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YAG单晶基片的精密抛光及SPM检测
引用本文:史兴宽,徐传义,任敬心,董申.YAG单晶基片的精密抛光及SPM检测[J].航空精密制造技术,2000,36(2):5-8.
作者姓名:史兴宽  徐传义  任敬心  董申
作者单位:1. 西北工业大学精密超精密加工技术研究室,西安 7100732
2. 哈尔滨工业大学,哈尔滨 150001
基金项目:航空基础科学基金,西北工业大学校科研和教改项目,,,,
摘    要:利用扫描探针显微镜(SPM)对YAG单晶基片精密加工表面进行了检测,获得了YAG单晶基片表面及表面层的基本特征,表明了SPM作为表面物理量检测是一种重要显微工具.

关 键 词:钇铝石榴石晶体  基片  表面测试  SPM  YAG  crystalline  substrate  surface  measuring
文章编号:1003-5451(2000)02-0005-03
修稿时间:1999年10月22

Measuring the Precision Machining Surface of YAG Crystalline Substrates with SPM
Shi Xing-kuan, Xu Chuan-yi,Dong shen et al..Measuring the Precision Machining Surface of YAG Crystalline Substrates with SPM[J].Aviation Precision Manufacturing Technology,2000,36(2):5-8.
Authors:Shi Xing-kuan  Xu Chuan-yi  Dong shen
Abstract:With the Scanning Probe Microscope(SPM),the precision machining surface of YAG substrates is measured.As a result,the fundamental characteristics of YAG crystalline substrates have been obtained.So,the important role of SPM played in the surface measurement is demonstrated.
Keywords:YAG  crystalline substrate  surface measuring  SPM
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