谐振式加速度计自激振荡电路性能评价方法的研究

针对谐振式加速度计成品率不高、精度低等问题，以石英振梁加速度计为例，采用引进标准信号，将谐振电路作为“黑盒子”，对其开展独立的评价。通过评价电路的驱动电压幅值稳定性、移相稳定性、全温幅值/相位对称性等指标，与加速度计实际指标建立了一一对应的关系，为加速度计研制与性能提升提供了有效依据。实际运用表明，电路噪声性能、温度性能大幅提升，产品成品率从70%提高到了约90%。