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多种示漏气体分析仪的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
借鉴欧洲空间中心所用检漏仪的原理及主要技术措施,采用分子泵和机械泵的真空获得系统、钛升华泵和旁通阀真空维持系统、高灵敏的质谱分析系统,研制出了一次能检测出多个系统的高灵敏的多种示漏气体分析仪。文章介绍该分析仪的原理、设计方案、设计特点、设计计算。进行了性能测试,结果表明:该分析仪在大气环境条件下,最小可检测He,CF4的浓度小于5×10-8,对Ne小于5×10-7。 相似文献
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