微机电光干涉陀螺分析

提出一种哥氏力原理与光纤干涉测量相结合的新型微光机电陀螺仪,以达到更高的角速度测量精度。根据哥氏力原理微机电振动部分将输入角速度转换成为微型质量块的单轴简谐振动,再由高精度光纤干涉位移读出系统对由转动所引起的振动位移进行测量,进而间接读出输入角速度。这里建立的数学模型和推导出的公式具有一般性,可用于各种不同的设计和结构,并且推导出角速度与光干涉输出光强之间的关系。光纤干涉读出系统在位移测量精度上要优于电容式读出系统,而且随着新型微型光源和光探测器的发明,光学系统已经具备和现有微机电系统结合的可能性。