基于FR4的多自由度电磁式扫描光栅微镜结构设计

本文面向低成本、高可靠、便携式光谱分析检测设备的需要，提出了一种基于FR4（Flame Retardant，阻燃等级为UL94V-O的板材，4表示树脂为环氧树脂、增强材料为玻璃纤维布）复合材料的多自由度电磁驱动微型集成扫描光栅微镜新结构。通过多自由度结构设计，有效提升了微镜转动角度。建立了器件有限元仿真模型，开展了静力学、模态及谐响应分析。有限元分析结果表明：微镜能够在设定谐振模态下工作，其微镜与驱动线圈的位移比值为1.795，为大转角电磁式微型集成扫描光栅微镜设计提供了一种新方法。