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为了进一步提高超声电机的定位精度，满足航空航天驱动机构对高定位精度的迫切需求，采用柔性轴提高超声电机运行稳定性，并基于电机瞬态响应特性，实现超声电机的高精度定位性能.超声电机具有响应快的特点，具有实现高定位精度的可能，但由于其步进特性不清晰，运行波动较大，其潜力尚未被完全挖掘.针对该问题，首先探索超声电机的步进特性，得到不同负载下电机的步进规律，然后采用连续模式和步进模式相结合的控制策略，实现了超声电机的高精度定位特性.研究结果表明：采用柔性轴后，电机步进波动大幅降低，电机定位精度可达0.48″，所需的定位时间小于1.34 s. 相似文献
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