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综述了纳米测量方法,主要可归纳为光学和非光学两大类测量技术。通过对各种方法的测量原理、测量装置、测量准确度及其亟待解决问题的分析,阐明了纳米测量技术的发展现状、发展趋势,对纳米测量技术的发展具有一定的推动和指导作用。 相似文献
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介绍了经过改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定。从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分Ⅳ、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量准确度,解决了一等量块长度测量问题。 相似文献
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