一种非接触光外差轮廓仪

介绍了一种纳米级非接触超高精度光外差轮廓仪。该量仪是基于普通光路的外差干涉仪,两束具有微小频差的激光束照射到制件表面:其中一束光被会聚后作为测量光针扫瞄制件表面;另一束光则被用作参考光束。这两束光经反射后形成干涉,所得信号的光程差与制件表面高度变化成正比。量仪的横向分辩力小于2μm,垂直分辩力小于1nm。制件不需要进行大的调整。制件表面同时亦被作为测量参考面。经光电转换后,信号由微机处理,从而快速完成测量、计算、显示与打印各种参数与图形。     

三维表面形貌的功能评定方法

三维表面形貌受生成机理的影响 ,与表面功能密切相关 ,对表面的功能评定至关重要。论述了三维表面功能评定的各种方法 ,如最小二乘多项式拟合、滤波、Motif法和分形方法 ,并分析归纳了存在的问题和发展趋势。