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介绍一种新型干涉测量系统,该系统采用并列的两个参考镜,将产生的两组干涉条纹复合在同一视场。当测量系统产生的光程改变时,两组干涉条纹相对关系按一定规律变化,借助光电转换和图像分析技术,可用于长度和微小角度测量。介绍了可行性实验和测取的数据及分析所得出的结论。  相似文献   
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