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本文给出了研制的三种抗静电薄膜系列:ITO,IO,TO的电学,光学性能实测结果。薄膜系用磁控溅射方法在Kapton,Mylar等柔性基底上制备。试验表明导电的稳定性很好。同时还进行了模拟亚暴环境下抗静电膜的表面电导测试。结果表明经过改性的柔性二次表面镜可有效地消除静电积,累使电位控制在80V以下,而未经镀敷抗静电膜的柔性二次表面镜,表面充电电位可高达8-10kV。 相似文献
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