大量程纳米分辨率超精密测径仪

提出了一种新型可以测量孔和轴直径的超精密测量仪，该超精密测径仪主要由炫耀光栅和气浮导轨及红宝石探头组成，采用接触式绝对测量方法。介绍了环境温度的控制和减小环境振动的手段，以保证测量的精度和重复性。这种新型测径系统分辨率可以达到1nm,量程范围可达 0～100mm。     

容栅数显高度仪

介绍了容栅传感器的结构、原理及特点，着重阐述了容栅数显高度仪的机械结构和电气原理     

“加载”对精密方位转台示值误差的影响

一、概述我所研制的HNS-Ⅰ和HNS-Ⅱ型航测相机内方位元素测定仪(以下简称Ⅰ型和Ⅱ型光校台)是一种室内精密检定航测相机内方位元素及其光学畸变值的专用测试仪器。该仪器的设计指标主要有两项:1.仪器的径向畸变测量均方误差ΔD≤±3微米;2.航测相机多次安装,多次测量畸变值重复性误     

超精密偶件测量仪的误差运动综合数学模型

把超精密测量机床误差元素分为几何运动误差和热变形、接触变形等非刚体效应误差,利用齐次坐标变换方法结合测头与工件之间联结链的封闭特性,给出了超精密偶件测量仪几何和热误差以及探头和工件接触变形误差的综合数学模型.     

精密光学方位转台的结构特点

本文介绍了高精度大承载力转台的结构设计。从主体安排、轴系设计到工作台与主轴的联接等均有独特之处。本转台既满足了陀螺测试的需要,也被成功地用于航测相机内方位元素的测量上。     

提高粒度仪定体积精度的新方法

介绍了一种提高粒度仪定体积精度的新方法．该方法使用方便，定体积精度比原方法能提高一倍到一个数量级．     

基于神经网络预测的柱径特征点检出

针对峰值法中测量路径规划问题,提出了基于参数模型学习的神经网络预测器。通过预测器对测量路径的优化,测量系统的柱边特征点检出效率提高了近十倍以上。     

隔振设计在超精密加工与测量中的应用

较为系统地论述了振动来源,及根据超精密加工与测量的防微振设计要求,介绍了目前常采用的积极隔振与消极隔振设计方法与实现技术。     

炫耀光栅及其在精密测长应用中的基本原理

随着莫尔条纹技术的发展,透射式炫耀光栅的作用将越来越大。本文推导了锯齿型炫耀光栅的透射能量分布公式、光栅方程;证明了衍射级的主极强出现在光栅的自然折射方向上;导出产生双级主炫耀的条件,举例计算炫耀角φ与0级和第一级能量分布关系。叙述光栅付中出射角相同的衍射序列之间的关系,简要介绍炫耀光栅精密测长的基本原理和它所独有的特性,以及使用的主要条件等。本文提供透射式炫耀光栅的一些理论基础,对设计和改进透射式炫耀光栅有重要的指导意义。