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对各种集成光学陀螺结构方案进行了总结,并对干涉式、谐振干涉式、反射谐振式、透射谐振式等四种典型的陀螺方案进行了详细的分析和比较。分析结果表明,干涉式和反射谐振式陀螺方案具有较小的极限灵敏度值,而且反射谐振式方案是四种陀螺方案中极限灵敏度值最小的,即反射谐振式陀螺方案是具有最大潜能的陀螺方案。方案分析完成后开展了集成光学陀螺的相关关键技术的研究,通过集成光学芯片的优化设计和加工、信号检测技术等方面的研究,最终实现了零偏稳定性为0.2°/s的陀螺样机。  相似文献   
2.
介绍了MOEMS惯性器件的概念和特点,总结了国内外MOEMS惯性器件包括MOEMS陀螺和MOEMS加速度计的研究方案和研究进展,指出未来MOEMS惯性器件可能的发展方向和发展前景。  相似文献   
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本文介绍了光纤电压互感器的基本原理,针对实际工程应用中的问题,论述了光学参数在环境条件下变化引起的测量精度等关键技术问题,并给出了具体的解决方案.最后给出了光纤电压互感器与标准互感器的对比测试结果,证明了光纤电压互感器可以满足测量要求.  相似文献   
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