准LIGA技术的研究与发展

介绍近年来准ＬＩＧＡ技术发展的概况，着重讨论国内外对它的各个工艺过程所采取的一些措施及其在微传感器和微执行器中的应用，并简单论述它的发展趋势。     

梁式硅微机械陀螺结构的研究

通过分析梁式硅微机械陀螺的原理 ,确定了其结构参数。介绍制造工艺流程 ,完成了器件的制作 ,并测试出其工作谐振频率。     

MEMS 在军事领域中的应用前景

微电子机械系统（ＭＥＭＳ）在国民经济、科研和国防上应用甚广，文中较详细地说明ＭＥＭＳ在军事领域中的惯性测量器件、测控技术和信息管理上的多种应用。表明ＭＥＭＳ在加速国防现代化有着重要的应用前景及其极端重要作用。     

电容式微机械陀螺温度特性研究及温度补偿

电容式MEMS角速率传感器零位的全温稳定性是其实用化的最重要的技术指标之一。分析了陀螺工作原理,从传感器敏感表头的空气阻尼、谐振频率等方面分析了机械结构的温度特性,得出了在全温区内驱动力与传感器零位输出的相关性。根据对陀螺表头和接口电路的温度特性分析,设计了恒定跨导高线性度的运算放大器,实现了全温低相位偏移、低幅值偏移的接口ASIC,并在高压N阱COMS工艺下流片。通过驱动力信号对零位进行温度补偿,包含了机械结构刚度和空气热阻尼等因素的影响,理论上比单独的谐振频率补偿更准确,而且驱动力信号可直接由接口电路给出,避免复杂的采样。在-40℃60℃的温度范围内进行零位温度循环测试,驱动力幅值对零位输出进行三阶拟合补偿,补偿后全温零位温度漂移小于26.7(°)/h(1σ)。