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本文以不同的修整条件修整砂轮,用表面粗糙度仪测量砂轮表面轮廓曲线数据,通过FFT软件分析其频谱变化.实验结果表明,当修整深度较小时,砂轮表面出现明显的修整特征频率;当修整深度增大时,修整特征频率不明显.而修整进给率较小时,修整特征频率不明显;当修整进给率较大时,砂轮表面出现明显的修整特征频率. 相似文献
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通过对CLBO晶体半固结磨粒研磨过程进行研究,经过粗研和精研后,CLBO晶体表面粗糙度达到1ns且表面无划痕.并从加工表面的扫描电镜图可知,CLBO晶体半固结磨粒研磨的材料去除机理是延性去除模式. 相似文献
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本文采用激光诱导荧光技术(LIF)来研究抛光参数对化学机械抛光加工区液膜厚度的影响.研究表明,抛光液膜厚度随着抛光载荷的增加而减少,减小的趋势随抛光载荷的提高而减缓.同时液膜厚度随着抛光速度的增加而变大.通过抛光参数的变化对抛光液液膜厚度影响的分析,为改善CMP加工工艺提供理论性的依据. 相似文献
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