超精密阀套内孔的珩磨工艺研究

本文阐明了珩磨加工超精密阀套内孔的详细工艺流程,推荐使用一种全浮式珩磨夹具及精密珩磨头,通过加工实例给出了粗珩、半精珩、精珩及预孔加工的工艺参数,可有效地保证超精密阀套内孔圆柱度0.5μm的形状精度。