基于模态匹配和正交抑制的微机电陀螺闭环控制技术研究

模态匹配和力反馈控制可以在不牺牲检测带宽的情况下，利用机械谐振放大特性有效提高微机电陀螺信噪比、改善陀螺性能。结合一款高Q 值对称式四质量敏感结构的陀螺表头,在陀螺动力学平均模型基础上，通过对检测模态同相分量和正交分量的控制，实现陀螺的闭环检测控制。基于静电负刚度原理，通过改变陀螺敏感结构梳齿与质量块之间的电压，构建实时正交抑制系统和精确模态匹配环节，推导出陀螺的静电刚度矩阵，完成了对正交耦合信号的实时抑制和驱动、检测模态的精确模态匹配并且实现对两环节的解耦控制。实测结果显示，陀螺频差由24 Hz缩小到0.05 Hz以内，全温条件下，陀螺的正交耦合量由3(°)/s抑制到0.01(°)/s，陀螺全温零偏稳定性由初始的11.48（°）/h改善到1.95(°)/h，验证了实时正交抑制和模态匹配等技术对提升陀螺性能的具体效果。