基于周期性换向冲液的掩膜电解加工技术

掩膜电解加工技术是一种用于阵列结构加工的高效电化学加工技术，被广泛应用于各类难加工材料的阵列群孔、群坑或群槽的加工制造。目前，掩膜电解加工中多采用侧面单向供给电解液的方式进行加工，该冲液方式简单易行，但由于加工区迎水面和背水面的流场差异，造成群孔结构的成形精度较差。为此，提出了周期性换向冲液技术，以改善加工区流场分布，进而提升群孔结构的成形精度。通过数值模拟仿真和实验研究，明确了最佳的换向冲液频率，研究结果表明换向冲液技术可以有效提升孔的成形精度。最终，采用周期性换向冲液技术完成了阵列群孔结构的加工，相较于单向冲液，孔的侧壁与轴线夹角差异率下降至1%以内，获得了较高的成形精度。