加工表面形貌的在线检测及其应用

介绍了一种基于光针法的表面形貌测量装置,它能在线测量加工工件圆周方向的波纹度和轴向表面轮廓形貌,其垂直分辨率为0.02～0.10μm,横向分辨率为30～50μm。切削试验表明,该装置能够在线识别刀具上的积屑瘤、切削过程中的颤振和刀具磨损对加工表面形貌的影响。     

基于隧道效应的纳米级轮廓仪

介绍了一种利用量子力学中隧道效应原理工作的纳米级轮廓仪．它可对直径为１３０ｍｍ的光盘、磁盘等较大工件表面直接进行测量，扫描范围为１×１～１４０×１４０μｍ２，Ｘ，Ｙ方向扫描步长为１～８００ｎｍ可调，横向分辨率达几个纳米，纵向分辨率优于１ｎｍ．利用该装置已测得精密光栅、精磨祥块、金刚石镜面车削等表面的纳米级形貌．     

智能式砂轮在线自动平衡仪

介绍了一种高精度智能式砂轮在线自动平衡仪，它由振动检测装置，砂轮平衡器和一个８０３１单片机用户系统组成．通过磨削试验，该平衡仪具有模仿人工操作进行控制的功能，有效地减轻了振动，提高了磨削加工质量．     

基于CPT原理原子钟的频率控制系统

在J．Vanier工作的基础上,根据Get（Coherent Population Trapping：相干布局数囚禁）原子钟的系统组成和工作原理,导出了基于CPT原理原子钟的频率控制系统模型,对于基于CPT原理原子钟的分析和设计工作具有实际的指导意义。     

精密工程中应用的宽范围原子力显微镜的研究

描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜．用管状扫描器工作时，测量范围可达２μｍ×２μｍ，能获得原子级的分辨率．当用新开发的定范围工作台扫描时，测量范围可为１４０μｍ×１４０μｍ；分辨率可在１～１００ｎｍ之间调节．