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设计了一种基于绝缘体上铌酸锂(LNOI)的片上多模干涉(MMI)波导功率分束器,在5μm×45μm的小尺上实现了1×2的片上分束功能,且满足集成化光纤陀螺的光路应用要求。通过理论公式和有限时域差分法对器件进行了关键参数计算和光场仿真,MMI干涉区长度为20μm,优化输出分支间距并增加宽度为1.7μm的锥型波导后,在100nm的光谱宽度中,功率分束器的归一化输出光强较为平坦,最低规一化输出光强为0.965,两输出分支的光功率不均匀度仅为10量级。 相似文献
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