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目前高精度机械加工对几何尺寸的动静态检测要求越来越高,检测系统的信号变换方法也随之越来越广泛,以适应检测的需要。电阻式、电感式的应用是十分多见的,电容式的变换方法应用却较少,其原因主要是由于电容式传感器本身的电容值及其变化量都很小,极易为杂散的寄生电容以及连接电缆的电容所淹没。近年来,由于电子技术的发展,以及驱动电缆技术的出现,使得电容式仪器迅速发展,应用日益广泛。其特点为动、静态响应快,精度高,采用驱动电缆技术后,仪器灵敏度可达0.01μm~0.001μm,并且线性度好,可达全量程的1%~0.5%调整使用方便,根据用户要求传感器可设计成任何形状。可用于测量微小位移的振幅及距离,特别适用精密轴系的动态测试,也可用于孔径及表面光洁度的测量以及自动控制等。本文主要介绍驱动电缆的原理和实施方法。  相似文献   
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本仪器是一种采用了电容传感器进行非接触式测量的数字式测量仪器,它避免了接触式测量仪器由于摩擦、自热、变形和力的作用等不利因素的影响。具有高分辨率、高精度和宽测量范围的特点。它可以广泛地应用于科研和生产中的微米级振动测量。本仪器可以外接打印机、图示仪、示波器、频谱分析仪和数字电压表等。该仪器还可以做为高精度静位移测量时使用。  相似文献   
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